Intel gibt Entwicklung der 157nm Lithographie auf

Mit einer gewagten Ankündigung hat Intel am 23. Mai die Halbleiterbranche verunsichert. Das Unternehmen will seine bisherige Roadmap für die Fertigung von Halbleitern im 157nm Lithographie-Prozess kippen und somit eine ganze Generation in der Fertigungstechnik überspringen.

So plant Intel nun nicht mehr neue Maschinen für die Herstellung von CMOS-Halbleitern mit 45nm Strukturbreite zu kaufen, sondern vielmehr bereits bestehende 193nm-Anlangen umzurüsten. Allerdings müssten die für diese Anlagen benötigten Linsen erst noch entwickelt werden. Mit der Serienfertigung dieser Halbleiter soll im Jahr 2007 begonnen werden.

Durch die immer komplizierter und damit teurer werdende Entwicklung von neuen Herstellungsprozessen, ist es einzelnen Unternehmen nicht mehr möglich die ganzen Investitionskosten alleine aufzubringen. Gemeinsam arbeitet die gesamte Branche innerhalb eines Forschungskonsortiums an der Verkleinerung von Strukturen. Diese Schwierigkeiten führten in der Branche vor allem bei kleineren Unternehmen schon seit längerem zu einer gewissen Verunsicherung. Hinzu kommt noch die Flaute in der die Halbleiterindustrie seit geraumer Zeit steckt. So kommt es, dass Branchenriesen immer stärker die Entwicklung der Roadmap bestimmen können. Auch die Hersteller der Lithographiesysteme blieben nicht verschont. Im Wesentlichen gibt es nur noch drei Hersteller, für die entsprechenden Anlagen; das sind Nikon, Canon und ASML.

Der Schritt Intels, könnte in der Branche weitreichende Auswirkungen haben. Zum einen verlieren die Lithographie-Maschinen-Hersteller einen ihrer wichtigsten Kunden. Zum anderen wird befürchtet, dass Intel mit seiner Taktik bewusst versucht Konkurrenten auszustechen, in dem der Konzern mit hohem Risiko auf die kommende EUV-Technik setzt. Die extreme ultraviolette (EUV) Lithographie soll im Jahre 2009 einsatzbereit sein. Daran lässt sich ablesen wie jung und Risiko behaftet diese Technologie noch ist.

In zwei Wochen finden in Kyoto die nächsten VSLI-Symposien statt. Es wird erwartet, dass Intel dort genauere Angaben zu seinen weiterem weiteren Vorgehen machen wird.