Neues Zentrum für Photomasken in Dresden eröffnet

In einer Zeit von nur 16 Monaten ist mit dem Advanced Mask Technology Center (AMTC Dresden) ein Zentrum für die Forschung und Entwicklung sowie für die Pilotproduktion von Photomasken der nächsten Technologiegenerationen entstanden.

Das AMTC Dresden ist ein Joint Venture von AMD, DuPont Photomasks und Infineon, an dem die drei Partner zu gleichen Teilen beteiligt sind. In dieser Kombination werden Photomasken für Speicher- und Logikchips hergestellt. So soll zunächst die Maskentechnologie zur Erzeugung von Strukturen mit Breiten von 90 nm, später 65 nm und auch kleiner entwickelt werden.

Unter der Führung des AMTC Dresden entstand zusätzlich ein Konsortium von 15 Firmen und 6 Forschungseinrichtungen, das sich im Rahmen eines Forschungsgroßprojektes über die kommenden vier Jahre den technologischen Herausforderungen stellen will.

Gleichzeitig mit dem Start der Entwicklungs- und Pilotfertigung feierte das AMTC Dresden die Herstellung der ersten Photomaske. Hierbei handelt es sich um eine 193 nm Halbtonmaske, wie sie zur Zeit für die Produktion von Chips und Prozessoren bei AMD und Infineon eingesetzt werden. Die kundenspezifische Volumenfertigung der neuesten Masken wird anschließend im selben Gebäudekomplex von DuPont Photomasks übernommen.

Die Investition in das AMTC Dresden soll in den nächsten fünf Jahren rund 360 Mio. Euro betragen. Die Gesamtinvestition in das Maskentechnologiezentrum (AMTC Dresden und DuPont Photomasks Germany) soll in den nächsten fünf Jahren rund 500 Mio. Euro betragen. Bis zum heutigen Tag arbeiten bereits 115 Mitarbeiter in einem international besetzten Team an der Entwicklung und Fertigung von Masken. Darüber hinaus sind dieses Jahr etwa ein Dutzend weiterer Einstellungen geplant.