Intel: Auch 7-nm-Fertigung wohl noch ohne EUV-Lithografie

In mehreren Vorträgen hat Intel zum IDF 2014 über die neue 14-nm-Fertigung informiert. Und in den anschließenden Frage- und Antwortrunden gaben die Sprecher das eine oder andere Detail darüber hinaus zu Protokoll. Auch zur Fertigung in 10 oder gar 7 nm kleinen Strukturen.

Intel-Urgestein und einer der Hauptverantwortlichen für die Fertigung bei Intel, Mark Bohr, gab bereits vor fünf Wochen einen kleinen Einblick auf die 10-nm-Fertigung, holte zum IDF 2014 jedoch noch etwas weiter aus. Nachdem bereits öffentlich vermeldet wurde, dass die 10-nm-Fertigung noch ohne die EUV-Lithografie umgesetzt werden wird, sieht es nach derzeitigem Stand auch für den darauffolgenden Schritt 7 nm schlecht aus. Probleme bei der Ausbeute aber auch bei der Haltbarkeit der Produkte würden eine wirtschaftliche Fertigung auch bei dieser Strukturgröße noch verhindern.

Bohr betonte, dass Forschung und Entwicklung bereits mit Hochdruck am übernächsten Schritt arbeiten würden. Die EUV-Technik sei hochinteressant und ob ihrer theoretischen Vorteile prädestiniert. Dennoch könne Intels Zukunft nicht darauf bauen, dass diese Belichtungsmethode für Wafer rechtzeitig zum 7-nm-Start an dem Punkt sei, an dem sie der Hersteller gerne hätte. Die Aussagen legen nahe, dass Intel einen Weg gefunden hat, die klassischen Lithografiemethoden auch noch für 7 nm kleinen Strukturen nutzen zu können – oder sich dieser Lösung zumindest nahe wähnt. Vermutlich fährt der Hersteller in dem Bereich zweigleisig, um kurzfristig doch noch auf EUV umschwenken zu können, sollte das Verfahren rechtzeitig serienreif sein.

Bereits Anfang August bestätigte Bohr, dass bei der 10-nm-Produktion nach aktuellem Entwicklungsstand keine größeren Probleme erwartet werden. Die Forschung daran ist größtenteils abgeschlossen, die klassische Lithografie stand von vornherein fest. Die Probleme beim 14-nm-Prozess bzw. die daraus gewonnenen Erkenntnisse würden Intel helfen, den nächsten Übergang mit weniger Problemen zu bewerkstelligen. Bis zur 10-nm-Fertigung in Großserie vergehen nach aktuellem Wissensstand allerdings noch zwei Jahre; und bei der jetzt so problembehafteten 14-nm-Fertigung zeigte sich Intel lange Zeit auch sehr zuversichtlich.