ASML: Mit EUV- und 10-nm-Ausrüstung ins neue Jahr

Der niederländische Fabrikausrüster ASML hat das Jahr 2015 mit Rekordumsatz und guten Gewinnen abgeschlossen. Für die nahe Zukunft steht neben der Lieferung der Ausrüstung für 10-nm-Chips weiterhin EUV auf dem Programm, bei dem die Ausbeute und die Verfügbarkeit weiter gesteigert werden muss.

EUV-Lithografie ist und bleibt eine schwierige Technologie, die mit jedem Jahr noch ein wenig weiter nach hinten verschoben wird. Zwar wurde im Jahr 2015 an vielen Fronten eine Verbesserung erzielt, an diversen Stellen hakt es aber immer noch. Bei ASML wurden zwar bereits innerhalb von 24 Stunden simuliert 1.250 Wafer mit EUV belichtet, bei einem Partner kam ein 4-Wochen-Dauertest auf nur rund 15.000 Wafer. Für 2016 steht an, die Ausbeute für das 24-Stunden-Zeitfenster mindestens auf 1.500 Wafer zu steigern, gleichzeitig die Verfügbarkeit der Belichtungsmaschinen von derzeit über 70 auf stabil und dauerhaft über 80 Prozent zu erhöhen.

ASML plant, in diesem Jahr sechs bis sieben EUV-Geräte an Partner auszuliefern, sodass die ihre Erfahrungen damit sammeln können. Von der großflächigen Serienproduktion sind die Systeme aber nach wie vor weit entfernt, TSMC hatte im Zuge der letzten Quartalszahlen erwähnt, dass zur geplanten 5-nm-Fertigung ab dem Jahr 2020 EUV massiv im Einsatz sein soll. Nach bisherigen Plänen, die auch Intel bereits vorgestellt hat, wird die 10-nm-Fertigung noch komplett ohne EUV über die Bühne gehen, bei 7 nm werden eventuell einige Lagen mit EUV belichtet, der Großteil jedoch noch im klassischen Verfahren der Immersionslithografie hergestellt. TSMC arbeitet laut Chairman Morris Chang derzeit wie ASML an der Zuverlässigkeit der Tools für die Massenfertigung und empfängt aktuell die dritte Generation der Werkzeuge (NXE:3350B), mit der dies weiter verbessert werden soll.

ASML blickt aber nicht nur auf die EUV- sondern auch die klassischen Belichtungsmaschinen. In den Foundries wird die 10-nm-Fertigung startklar gemacht, ab dem zweiten Quartal erwartet ASML den Verkauf zusätzlicher Tools für die Vorbereitung auf die Massenproduktion. Dort gab es im letzten Jahr einen Schlagabtausch zwischen TSMC und Samsung, wer die Fertigung denn als erstes nicht nur zeigen, sondern auch marktreif haben könnte. Intel wird es auf jeden Fall nicht, deren 10-nm-Fertigung ist bereits offiziell stark verspätet und wird erst 2017 erwartet.

Das Gesamtjahr 2015 schloss ASML mit einem Umsatz von knapp 6,3 Milliarden Euro ab, der Gewinn lag bei knapp 1,4 Milliarden Euro. Insgesamt hat der Konzern 144 neue Systeme und 25 gebraucht verkauft, der Durchschnittspreis lag bei 25,1 Millionen Euro. Im ersten Quartal erwartet ASML 1,3 Milliarden Euro Umsatz, im zweiten soll dieser dann aufgrund des 10-nm-Equipments deutlich steigen.