Fabrikausrüster: ASML macht dank EUV-Systemen mehr Umsatz

Vier Systeme ausgeliefert, insgesamt sieben beim Umsatz verbucht – ASMLs Belichtungsmaschinen für die neue EUV-Lithografie kurbeln den Umsatz bei den Niederländern an. Insgesamt 20 Systeme will ASML in diesem Jahr liefern, im kommenden Jahr noch einmal 50 Prozent mehr.

Ein Umsatzsprung von 2,101 auf 2,704 Milliarden Euro kann ASML im zweiten Quartal im Vergleich zum Vorjahr verbuchen, der Nettogewinn legt ebenfalls um einen zweistelligen Prozentwert von 466 auf 584 Millionen Euro zu. EUV-Scanner haben dabei einen pro Stück betrachtet sehr hohen Umsatzanteil, die Kosten werden auf rund 120 Millionen Euro pro Einheit geschätzt. Das Brot- und Buttergeschäft sind aber nach wie vor die klassischen Belichtungsmaschinen, denn insgesamt hat ASML 59 Systeme im zweiten Quartal verbucht.

Dass es mit EUV weiter bergauf geht, erklärt ASML am Rande der Quartalszahlen. So wurde eine durchschnittliche Verfügbarkeit der neuen NXE:3400 von über 85 Prozent in einem Zeitraum von über vier Wochen erreicht, was den Weg zur Serienfertigung weiter freimacht. Denn dass es ab 7 nm mit den herkömmlichen Methoden knapp wird, zeigt ASML. Intel setzt beispielsweise bereits bei 10 nm das beschriebene erweiterte Quad Patterning (SAQP) ein, die Fehleranfälligkeit durch viele Produktionsschritte bei der Nutzung der klassischen Immersionslithografie steigt so deutlich an. Das Ergebnis wird bei Intel sichtbar: Die Yields für 10 nm sind sehr schlecht, die Massenproduktion wurde zurückgestellt, bis die Ausbeute gestiegen ist. Intel gehört auch deshalb mit zu den ersten Abnehmern von EUV-Maschinen.

Im kommenden Jahr soll die Verfügbarkeit der Scanner durch weitere Feinjustierungen und Anpassungen auf über 90 Prozent steigen. Dann erwartet ASML auch weitere Kundschaft für die neuen Belichtungsmaschinen, denn nachdem zu Beginn erst einmal die Logic-Hersteller zugreifen, die damit wie TSMC, Samsung, Intel und Globalfoundries diverse CPUs, GPUs und SoCs fertigen, werden zu Beginn der 2020er Jahr auch DRAM-Fertiger erwartet. Lediglich NAND ist auf absehbare Zeit noch kein Ziel für die EUV-Lithografie.

Für das dritte Quartal erwartet ASML ganz ähnliche Umsätze, die wieder etwa 2,7 Milliarden Euro betragen sollen. Erneut sollen EUV-Systeme ihren gewichtigen Anteil dazu beitragen, rund 500 Millionen Euro sollen allein damit erwirtschaftet werden.