Fertigungstechnologien: ASML, Zeiss und Nikon einigen sich im Patentstreit gütlich

ASML, Zeiss und Nikon legen ihre jahrelangen Patentstreitigkeiten bei und einigen sich gütlich. Nikon bekommt als einzige Partei jedoch 150 Millionen Euro von ASML und Zeiss, zudem über die kommenden zehn Jahre auch noch jährliche Lizenzeinnahmen.

Erneut ist Nikon der Gewinner der Auseinandersetzungen der drei Firmen, wenngleich es heute heißt, dass es ein gütliches Ende nach dem jahrelangen Rechtsstreit ist, der zeitgleich zu einem neuen Patentaustausch und Lizenzabkommen führt, das im Februar dieses Jahres unterschrieben werden soll.

Über zehn Jahre lang bekommt Nikon neben der Einmalzahlung von 150 Millionen Euro – die ASML scheinbar 131 Millionen Euro kosten wird – in Zukunft 0,8 Prozent der Einnahmen, die aus dem Verkauf von Lithografiesystemen verbucht werden. Die Belichtungstechnik war der größte Teil des Anstoßes der Auseinandersetzungen, parallel dazu aber auch Technik für Digitalkameras.

ASML und Nikon sind Marktführer für Lithografiesystemen, während Zeiss zum Teil die Technik stellt, die intern dafür verbaut ist. Im Rampenlicht stand zuletzt in der Regel aber nur ASML, da der Hersteller bei EUV ganz vorn am Start ist, klassische Immersionslithografie ist wiederum das Steckenpferd von Nikon. Große Halbleiterhersteller nutzen deshalb in der Regel auch beide Firmen für ihre Fabrikausrüstung.

Lange Geschichte von Patentstreitigkeiten

Die Geschichte der Patentstreitigkeiten zwischen den drei Unternehmen ist lang. 2001 zog Nikon gegen ASML vor Gericht, 2003 wurden die Klagen aber abgewiesen. 2004 einigten sich beide Konzerne auf einen Patentaustausch bis zum Jahre 2009, gleichzeitig mit der Ansage, sich weitere fünf Jahre nicht wegen Patenten zu verklagen. Damals endete der Vergleich aber mit einer Zahlung von ASML/Zeiss an Nikon, 145 Millionen US-Dollar wurden Nikon zugesprochen.

Im Jahr 2017 wiederholte sich das Spiel. Nikon hatte im April des Jahres Klage gegen ASML eingereicht, der niederländische Konzern zog in Kooperation mit Zeiss bereits wenige Tage später mit mehrfachen Gegenklagen in Japan und später auch in den USA nach. Die Einigung jetzt setzt dem vorerst einen Schlussstrich.