EUV-Lithografie: ASMLs neue Scanner schaffen bald 170 Wafer pro Stunde

ASML hat das erste Quartal leicht über den Erwartungen abgeschlossen, was unter anderem an der Auslieferung von EUV-Belichtungssystemen liegt. Die Scanner sind sehr gefragt, das nächste Update zudem bereits in Vorbereitung, mit dem die Ausstoßrate weiter verbessert wird.

EUV-Belichtungsmaschinen werden verbessert

Ein höherer Durchsatz an Wafern pro Stunde (Wph) erhöht die Effizienz der gesamten Maschine und damit des Produktionsablaufs bei den Kunden, allen voran TSMC und Samsung. Die beiden größten Halbleiterhersteller betonten in den vergangenen Tagen, große Stücke auf EUV zu setzen. Die Scanner aus der Familie NXE:3400, die dort auch genutzt werden, sind alle updatefähig, sodass sie auf den Stand NXE:3400C gehoben werden können, der durch higher transmission optics 170 Wph ermöglicht. Bisher sind die Maschinen mit 150 Wph bis 155 Wph spezifiziert, ab dem zweiten Halbjahr sollen sie aufgewertet werden können.

In Zukunft auch für DRAM

ASML spricht bei dem Update explizit davon, dass sich diese dann auch langsam für DRAM-Chips eignen würden. Bisher sind die EUV-Belichtungsmaschinen nur für Logic-Chips im Einsatz, auch belichten sie bei TSMC und Samsung bisher nur einige Lagen. Bei DRAM spielt der Kostenfaktor vor allem aktuell eine noch viel größere Rolle, in der Regel ist die Fertigungsstufe aber auch noch nicht so weit fortgeschritten, dass es EUV braucht. DRAM ist aktuell bei 1y angelangt, was rund 16 nm entspricht, Logic-Chips gehen in diesem Jahr den Weg von 7 nm zu 6 nm und sollen 2020 in 5 nm gefertigt werden.

Das Geschäft mit den neuen Belichtungssystemen lohnt sich. Für das aktuelle zweite Quartal erwartet ASML einen Umsatz von 600 Millionen Euro allein durch die EUV-Scanner, was vermutlich fünf Einheiten entspricht, insgesamt soll der Umsatz bei bis zu 2,6 Milliarden Euro liegen, im ersten Quartal waren es 2,2 Milliarden Euro. Im ersten Quartal hat ASML vier EUV-Systeme ausgeliefert, drei Bestellungen wurden neu verbucht. Ursprünglich hatte ASML geplant, bis zu 30 EUV-Scanner in diesem Jahr auszuliefern, ob dieses ambitionierte Ziel gehalten werden kann, wird der Fortschritt im Laufe des Jahres zeigen.