EUV-Lithografie: ASML NXE:3400C belichtet 2.000 DRAM-Wafer pro Tag

Vor drei Monaten hat ASML eine Erhöhung der Leistung der EUV-Systeme in Aussicht gestellt, jetzt liefert der Fabrikausrüster. Dies soll vor allem Kundschaft in der DRAM-Fertigung locken. Mit einer Simulation von 2.000 DRAM-Wafern pro Tag soll die Einsatzbereitschaft bald gewährleistet sein.

Ein höherer Durchsatz an Wafern pro Stunde (Wph) erhöht die Effizienz der gesamten Maschine und damit des Produktionsablaufs bei den Kunden, allen voran TSMC und Samsung. Die Scanner aus der Familie NXE:3400, die dort genutzt werden, sind alle updatefähig, sodass sie auf den Stand NXE:3400C gehoben werden können, der durch higher transmission optics 170 Wph ermöglicht. Bisher waren die Maschinen mit 150 Wph bis 155 Wph spezifiziert. In den unter Bedingungen, wie sie beim Kunden herrschen würden, simulierten mehr als 2.000 Wpd sind Downtimes mit eingerechnet.

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Vor allem Samsung hatte sich zuletzt deutlich für eine EUV-Produktion auch bei DRAM-Chips ausgesprochen. Bei DRAM spielt insbesondere aktuell der Kostenfaktor eine große Rolle, in der Regel ist die Fertigungsstufe aber auch noch nicht so weit fortgeschritten wie bei Logic-Chips, dass EUV benötigt wird. DRAM ist aktuell bei 1y angelangt, was rund 16 nm entspricht, Logic-Chips gehen in diesem Jahr den Weg von 7 nm zu 6 nm. Doch bereits ab besagten 16 nm soll sich EUV auch in der DRAM-Produktion rechnen.

Doch auch ASML gibt zu, dass die Systeme noch immer nicht für das klassische High Volume Manufacturing bereit sind. Bei nahezu allen Kunden werden deshalb nur einige Layer mit EUV belichtet, während für weitere Produktionsschritte klassische Belichtungsmaschinen zum Einsatz kommen. ASMLs Roadmap sieht deshalb bereits die nächste Generation an Scannern vor, drei Großkunden, vermutlich Intel, TSMC und Samsung, haben bereits bis zu zwölf Systeme vorbestellt. Diese sollen ab Ende 2023 verfügbar werden, zuvor wird das bisherige NXE-System noch einmal aufgewertet.

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Die Anstrengungen von ASML in dem Bereich machen sich mehr und mehr bezahlt. Zehn neue Bestellungen gingen im zweiten Quartal für diese Art Scanner ein, im aktuellen dritten Quartal sollen wie im zweiten Quartal noch einmal sieben Systeme mit einem Gesamtwert von 750 Millionen Euro ausgeliefert werden.