Auftragsfertiger: TSMC bekommt 55 EUV-Scanner bis Ende 2021

Volker Rißka
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Auftragsfertiger: TSMC bekommt 55 EUV-Scanner bis Ende 2021
Bild: ASML

TSMC wird seinen Bedarf an EUV-Belichtungssystemen weiterhin beim niederländischen Fabrikausrüster ASML decken. Bisher sind bereits mindestens 30 Systeme in Taiwan in großen Fabriken im Einsatz, bis zum Ende des kommenden Jahres soll die Anzahl auf 55 steigen.

Zuletzt war bekannt geworden, dass rund die Hälfte aller weltweit im Einsatz genutzten EUV-Scanner bei TSMC genutzt werden. Zwar holen Samsung und Micron mit neuen Systemen für die DRAM-Herstellung ein wenig auf, der Großteil wird aber auch in naher Zukunft bei TSMC stehen. Samsung an Nummer 2 könnte bis dahin maximal 25 Systeme nutzen.

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