SK Hynix: EUV-Maschinen für DRAM-Fertigung in zwei Werken

Laut Medienberichten aus Südkorea wird SK Hynix nicht nur direkt seine neue Speicherfabrik M16 mit EUV-Belichtungssystemen ausrüsten, sondern parallel auch den bestehenden Standort M14. Dort soll die Herstellung vor Beginn der Serienfertigung erprobt werden.

EUV spielt in der Fertigung von DRAM-Chips bisher keine Rolle, doch es ist auch dort wie bei Logic-Chips der nächste große Schritt. Spätestens bei der neuen Fertigungsstufe 1a, wie es im DRAM-Segment nach den Prozessen 1x, 1y und 1z heißt, werden erste Layer mit EUV belichtet. Mitbewerber Samsung plant, ab 2021 erste EUV-DRAM-Chips zu fertigen, der Fertigungsprozess 1a steht dann auch dort auf dem Plan.