EUV-DRAM-Fertigung: SK Hynix kauft für 3,5 Mrd. Euro bei ASML ein

Es deutete sich zuletzt bereits an, jetzt ist es bestätigt: SK Hynix kauft in großem Stil EUV-Belichtungssysteme bei ASML ein. Das Auftragsvolumen umfasst über 3,5 Milliarden Euro und soll bis zum Dezember 2025 abgeschlossen sein.

In einer freiwilligen Auskunft an die koreanische Börse bestätigte SK Hynix vorangegangene Meldungen, dass die neue Fabrik M16, aber auch bestehenden Einrichtungen, in Zukunft auf EUV umgerüstet werden. Die neue Speicherfabrik M16 ist die bisher größte von SK Hynix. Die Anlage ist 336 Meter lang und 163 Meter breit, die Höhe von 105 Metern entspricht einem Wohnhaus mit 37 Stockwerken, erklärte der Hersteller kürzlich zur Eröffnung.

Vor dem Gesichtspunkt, dass die Anlage eigentlich schon fertig ist und die Reinräume in Betrieb sind, kommt die Bestellung bei ASML ziemlich spät – und dauert mit über vier Jahren Laufzeit auch noch sehr lange. Es zeigt vielmehr, dass die Umstellung von klassischer Lithografie auf EUV im DRAM-Bereich noch eine ganze Weile in Anspruch nehmen wird. Denn wie Micron zeigt, kann selbst der neue Fertigungsschritt „1α“ noch mit klassischen Mitteln bewerkstelligt werden.

Das Geld reicht für etwa 20 Systeme

3,5 Milliarden Euro sieht auf den ersten Blick nach einer Menge Geld aus, doch die Anzahl an EUV-Scannern, die SK Hynix am Ende dafür bekommt, ist gar nicht mal so groß. Denn zuletzt hatte ASMLs Quartalsbericht deutlich gemacht, dass der Preis für die neueste Generation auf fast 180 Millionen Euro pro Stück gestiegen ist, bisher waren es eher 140 bis 150 Millionen Euro. Unterm Strich sind die 3,5 Milliarden Euro also nur für rund 20 Belichtungssystem gut – mögliche Rabatte einmal ausgenommen.

ASML dürfte hocherfreut sein, denn deren Auftragsbuch ist mit Bestellungen im Wert von 6,2 Milliarden Euro nur auf den ersten Blick gut gefüllt. Angesichts der geplanten EUV-Auslieferungen mit einem Wert von rund 5,8 Milliarden Euro allein in diesem Jahr, wäre das ohne Neubestellungen aber schnell aufgebraucht. Der Fabrikausrüster hatte deshalb bereits seine Hoffnungen auf die DRAM-Hersteller gesetzt – exakt das ist jetzt eingetreten.