Ausrüstung für Chipfabriken: Bis zu 2 Jahre Warten auf neue Maschinen

Neue Chipfabriken zu bauen ist das eine, sie auszurüsten das andere: Fabrikausrüster haben Vorlaufzeiten von bis zu zwei Jahren, was sich nicht nur auf das neueste High-End-Equipment bezieht, sondern selbst gängige Tools für die 200-mm-Wafer-Fertigung.

Statt drei nun bis zu 24 Monate Wartezeit

Normalerweise liegen die Vorlaufzeiten zwischen einer Bestellung von neuen Maschinen und der Lieferung bei drei bis sechs Monaten, so war es selbst noch im vergangenen Jahr. Der Boom in der Halbleiterindustrie und die Nachfrage nach neuen Fabriken und größerem Kapazitätsausbau lässt nicht nur die Auftragsbücher dieser anschwellen, sondern auch die der Fabrikausrüster und damit die sogenannte lead time. Diese liegt nun bei im Schnitt 14 Monaten, für ganz gefragte Systeme aber auch schon bei über zwei Jahren.

Ganz gefragte Systeme kommen unter anderem vom bekannten Fabrikausrüster ASML. Die höchsten Vorlaufzeiten dort sind laut Bericht aktuell aber gar nicht bei EUV-, sondern bei klassischen ArF-Scannern zu finden, also jene, die noch auf 193 nm als Lichtquelle und dann wahlweise mit Immersion setzen. Diese laufen in der Sparte allgemein unter DUV, EUV ist der jetzt populäre Nachfolger. Werden beispielsweise nur einige Layer mit EUV belichtet, reicht es bei vielen Produkten, restliche Lagen mit klassischen DUV-Systemen fertigzustellen – das spart Geld. DUV ist aber vor allem in vielen kleineren Fabriken gern auch mit nur 200-mm-Wafern der Stand der Dinge, weshalb sie quasi doppelt gefragt sind. ASML erklärte zu dem Thema zuletzt, die Produktion in dem Bereich deutlich zweistellig auszubauen, denn ohne diese Maschinen gibt es auch nicht mehr Chips für die Industrie.

Fast die ganze Branche boomt

Doch es sind nicht nur die Belichtungssysteme, sondern das komplette Paket an den in Fabriken benötigten Maschinen von multiplen Zulieferern wie Tokyo Electron (TEL), Hitachi High-Tech, Kokusai Electric, Advantest, Screen Semiconductor Solutions, Kulicke & Soffa, Disco, Varian Semiconductors, Edwards, Applied Materials, selbst Pumpen von Ebara und diverse KLA-Systeme sind knapp.

Für Fabrik-Neubauten ist das weniger ein Problem, als bestehende Standorte schnell auf zusätzliche Kapazität aufzurüsten. Ersteres nimmt ohnehin einige Jahre in Anspruch, der schnelle Kapazitätsausbau hat letztlich viele Stellschrauben, zumal es auch mit den reinen Tools noch nicht getan ist. Ohne die weiteren Materialien können diese nicht betrieben werden, womit auch die zuletzt stark gefragten Substrate und diverse weitere Chemikalien ins Spiel kommen. Auch hier gibt es zum Teil Engpässe, in guter Erinnerung ist auch der Mangel an Fluorwasserstoff bei Samsung vor zwei Jahren, als sich Südkorea und Japan im Handelsstreit befanden. Damals gab Samsung an, ohne Lieferungen nur einen Monat weiter arbeiten zu können.

Ein Ende des Booms ist erst einmal nicht in Sicht. Der Branchenverband SEMI erwartet viele Fabrik-Neubauten und deutliche Umsatzgewinne in den kommenden Jahren, passend dazu erhöht sich auch die Prognose für die Ausgaben an Ausrüstung.