Lithografie-Technologie: Canon will mit neuer Fab Kapazität verdoppeln

Bei Lithografiesystemen für die Chip-Herstellung fällt als erster und bekanntester Name stets ASML. Doch auch Nikon und Canon sind noch mit dabei, letzterer expandiert nun kräftig. Mit neuen Technologien will man ASML ein wenig herausfordern, diese bleiben bei EUV aber einziger Anbieter.

Nikon mit kaum zehn Prozent des Marktes und Canon, die immerhin noch auf knapp 30 Prozent Marktanteil kommen, spielen auf dem Papier nur noch die zweite Geige bei Lithografiesystemen hinter ASML, aber auch diese sind alles andere als unwichtig. Denn es braucht nicht nur die allerbesten und teuersten Systeme, die dazu noch Unmengen an Energie verschlingen, sondern auch kleinere Apparaturen und Forschung und Entwicklung in diesen Bereichen.

Canon will genau dies mit dem ersten eigenen Fabrik-Neubau für Lithografiesysteme seit über 20 Jahren angehen und dazu die erhöhte und breite Einsatzbereitschaft der Nanoimprint Lithography anstreben. Genau diese verspricht nämlich nicht nur bis zu 40 Prozent geringere Kosten als ein EUV-System, sondern auch noch einen bis 90 Prozent geringeren Energiebedarf. Ganz so kleine Strukturen wie mit EUV dürften sich damit aber nicht erstellen lassen, bisher war von rund 10 nm die Rede. Anstelle eines Belichtungsverfahrens werden bei dieser Technologie Muster im Nanometerbereich hergestellt, indem die Mustermaske auf das Harz gepresst wird. Das System ist relativ einfach aufgebaut und daher sehr kompakt, was so die entsprechenden Einsparungen verspricht. Kioxia hat diese „FPA-1200NZ2C“-Systeme als Probe bereits seit einigen Jahren für die NAND-Herstellung im Versuchsbetrieb.

Canon will mit der neuen Fabrik, für die nur umgerechnet rund 350 Millionen US-Dollar investiert werden sollen, seine Produktionskapazität in dem Bereich langfristig verdoppeln. Im kommenden Jahr soll Baubeginn sein, ab 2025 soll das Werk produzieren.

Wie sehr das Geschäft boomt, zeigt das aktuelle Jahr. Nach 140 ausgelieferten Lithografiesystemen im Jahr 2021 sollen in diesem Jahr 180 Systeme folgen. Dabei handelt es sich aber primär um klassische DUV-Scanner und -Stepper. Canon baut aber auch Maschinen, die als FPD Lithography Equipment bekannt sind, also für die Herstellung von Flat panel displays (FPDs) gedacht sind. Hiervon verkauft der Hersteller zusätzlich rund 60 Systeme im Jahr.