Next-Gen-DRAM-Fertigung: Japan investiert in Microns EUV-RAM-Herstellung

Ein höchst interessanter Schritt der Zusammenarbeit: Japan investiert in ein Micron-Werk in Hiroshima, in dem der EUV-1γ-Prozess (1-gamma) entwickelt wird. Dieser wird der aktuellen Technologiestufe rund um 1-beta (1β) folgen und steht bei Micron eigentlich schon lange in den Plänen.

Bei EUV ist Micron (noch nicht zu?) spät dran

EUV-Lithografie bei Micron ist eine lange Geschichte, die bisher noch nicht von Erfolg gekrönt ist. Während alle anderen Speicherhersteller größeren Kalibers um sie herum diese längst eingeführt haben, ist Micron hier wie Intel in der anderen Chip-Welt: Auf den ersten Blick ziemlich spät und hinten dran. Doch es ist eine andere Welt hier, dafür muss aber genauer hingesehen werden.

Bisher hat es für Micron problemlos funktioniert, auch 1-beta, der aktuelle Prozess, wird mit klassischen Belichtungsmaschinen realisiert. In der DRAM-Welt ticken die Uhren anders als in der Bulk-Logic-Chip-Fertigung: Was hier das neueste und beste ist, entspricht auf dem Papier bisher ungefähr aber „nur“ rund 12 nm, wie auch Samsung heute noch einmal verkündete. Und so ein Schritt ist bei Bulk-Logic-Chips mit klassischer Immersionslithografie noch kein Problem, dort folgt die Einstreuung mit EUV-Maschinen ab 7 nm und kleiner.

Dass Micron den EUV-Schritt erst ab 1-gamma gehen wird, ist bereits seit langem bekannt. Ursprünglich für das Jahr 2024 geplant, ist nach den schlechten Quartalen und hohem Inventarbestand nun die Einführung jedoch erst für 2025 vorgesehen. Samsung und SK Hynix nutzen EUV-Lithografie bereits für einige Layer seit der 1α-Produktion aus dem Jahr 2021.

Hohe EUV-Startkosten, aber Japan hilft

Da Micron mit EUV bei Null anfängt, sind die Auftaktkosten hoch. Bis zu 500 Milliarden Yen nennt der Hersteller in seiner Ankündigung als Investitionssumme für die kommenden Jahre in diese Technik, umgerechnet rund 3,3 Milliarden Euro. Dass Japan mit Aussagen wie „with close support from the Japanese government“ explizit genannt wird, deutet auf ein umfangreiches Subventionspaket hin, wenngleich offizielle Zahlen nicht genannt werden, Gerüchte aber von 200 Milliarden Yen sprechen. Japan ringt wie viele Länder in der westlichen Welt um heimische Chip-Produktionen und öffnet dafür den staatlichen Geldbeutel.

Today’s announcement between Micron and Japan to produce 1-gamma memory in Hiroshima is a major step forward to secure semiconductor supply chains. This partnership demonstrates how allies, when working together, can create economic opportunity and security in cutting-edge technologies.

Rahm Emanuel, United States Ambassador to Japan

Micron is the only company that manufactures DRAM in Japan and is critical to setting the pace for not only the global DRAM industry but our developing semiconductor ecosystem. We are pleased to see our collaboration with Micron take root in Hiroshima with state-of-the-art EUV to be introduced on Japanese soil. This will not only deepen and advance the talent and infrastructure of our semiconductor ecosystem, it will also unlock exponential growth and opportunity for our digital economy.

Satoshi Nohara, METI Director-General of the Commerce and Information Policy Bureau