Forschung und Entwicklung: Die EU fördert imec, das die Kooperation mit ASML vertieft
Die EU erkennt allmählich ihre Kronjuwelen und investiert zusammen mit dem belgischen Staat viel Geld in das Nano- und Mikroelektronik-Forschungszentrum imec. Dieses wiederum vertieft parallel dazu die Zusammenarbeit mit ASML; es entsteht eine noch stärkere Kombination in der Branche, an der eigentlich keiner vorbei kommt.
Mehr Geld für die Halbleiter-Forschung
Wie die EU-Kommission unter Führung von Ursula von der Leyen beim imec-Besuch persönlich zusammen mit hochrangigen Vertretern aus der Politik aber auch aus dem Nachbarland Niederlande in Form von ASML-CEO Peter Wennink erklärte, wird der imec-Standort im belgischen Löwen finanzielle Unterstützung erhalten. Für jeden Euro, den die EU investiert, gibt Belgien einen weiteren hinzu, von 750 Millionen Euro ist die Rede. Das Geld soll unter anderem für einen neuen Reinraum genutzt werden, schreibt imec.
Hinzu gesellen sich weitere Maßnahmen durch die Industrie in ungefähr gleicher Höhe, namentlich wird hier primär ASML angesprochen. Imec und ASML hatten in der letzten Woche erklärt, ihre Zusammenarbeit für die Zukunft zu vertiefen. Dafür wird ASML die modernsten Lithografiesysteme an imec liefern, unter anderem für 0.55 High-NA EUV (TWINSCAN EXE:5200), die modernsten Systeme auf Basis von klassischer EUV (TWINSCAN NXE:3800), DUV (TWINSCAN NXT:2100i), als auch Systeme aus den Bereichen Yieldstar optical metrology and HMI multi-beam. Allein diese Systeme dürften fast einen Marktwert haben, der den genannten 750 Millionen Euro entspricht. Hinzu kommt die weitere Unterstützung für bestehende Anlagen. Viele Forschungen für den kommenden Schritt auf die Strukturgröße von 2 nm werden aktuell bereits an einem High-NA EUV-Scanner vom Typ TWINSCAN EXE:5000 durchgeführt, der die Serienproduktion ab 2025 bei Partnern erst ermöglichen wird.
Investitionen fügen sich in den Chips Act ein
Der EU spielt das in die Karten. Es passt zudem extrem gut in genau das Bild, wofür der EU Chips Act stehen soll. Ziel ist es bekanntlich, innerhalb der Union nicht nur Fabriken für die Herstellung von Halbleiterprodukten anzusiedeln, sondern auch das Know-How und die Technologie dahinter in der eigenen Region zu fördern. Mit imec und ASML verfügen Belgien und die Niederlande bereits über zwei Branchenriesen, die ganz vorne mitspielen. Ohne die Grundlagenforschung von imec geht bei vielen Halbleiterherstellern gar nichts, ohne die ASML-Lithografiesysteme bekanntlich ebenso wenig.
Fabian und 
Jan-Frederik