Chip-Fertigung: China bringt erste eigene Lithografie-Maschine für 28 nm

Es wäre ein Meilenstein, wenn er denn wahr ist: SMEE aus China will eine erste eigene Lithografie-Maschine für 28-nm-Chips gebaut haben. Zum Einsatz sollen dabei ausschließlich Bauteile kommen, die auf keiner Sanktionsliste stehen, da die meisten direkt im Land gefertigt werden. Doch ob das stimmt, wird sich noch zeigen müssen.

Bereits im Jahr 2020 kamen erstmals Meldungen auf, wonach Shanghai Micro Electronics Equipment (SMEE), eine staatliche Einrichtung, die Enthüllung einer DUV-Belichtungsmaschine vorbereite, die für 28-nm-Chips geeignet sei. Seitdem ist es jedoch still um die Thematik geworden, zuletzt war vermehrt zu hören und lesen, dass die Umsetzung doch schwieriger sei, als die chinesischen Entwickler sich das erhofft hatten, weshalb viele Rückschläge die Folge waren.

Zunehmend wurde zuletzt die Partei ungeduldig, angesichts der andauernden Sanktionen durch die USA und westliche Partner, muss nun jedoch stärker denn je eine Lösung her. Denn Chinas Vorzeige-Foundry SMIC fehlte es zuletzt explizit an „bottleneck equipment“, also ganz wichtigen Anlagen, die als Flaschenhals in der Produktionskette fungieren, ohne die letztlich nichts geht. Hinter vorgehaltener Hand hieß es, die Lücke zwischen Chinas Technologie und der beispielsweise von ASML in dem Bereich sei über zehn Jahre groß, bei EUV eher noch mehr.

SMEE gilt schon länger als führend in China, bisher können sie jedoch maximal Lithografiesysteme für 90 nm und größer bauen, passende Zulieferer sind Kingsemi, AMEC oder auch Naura nebst einigen weiteren wie ACM Research in Anlehnung an LAM Research. Das alles funktioniert auch ziemlich gut, aber eben nur im Rahmen für Chips in größeren Strukturen, vornehmlich sogar 130 nm und mehr.

Aber auch dafür gibt es einen Markt, und den adressiert China ebenfalls vermehrt. Zuletzt kamen deshalb schon erste Warnungen auf, dass China so viel Kapazität für eben die großen Fertigungsprozesse aufbaue, dass es in Zukunft Probleme für die westlichen Hersteller geben könnte.