Exporte nach China: Neue Hürden für ASMLs Lithografiesysteme in Kraft

ASML bestätigt zum Jahresbeginn, dass Lizenzen zum Verkauf von Lithografiesystemen nach China teilweise nun offiziell widerrufen wurden. In den letzten Monaten hatte der niederländische Fabrikausrüster nahezu alles in diese Richtung exportiert, was möglich war, um der Blockade zuvor zu kommen.

Neue Hürden mit Ankündigung

Denn dass die Exportlizenz fallen würde, war bereits seit rund einem halben Jahr klar. ASML steht ohnehin schon viel länger auf der Liste der Kandidaten unter Beobachtung der USA, denn die fortschrittlichsten Systeme rund um die EUV-Lithografie waren bereits vom Start weg von einem Export nach China ausgeschlossen. Die Erweiterung der Bestimmungen trifft nun die besten klassischen DUV-Scanner. Ob dies vorzeitig vor dem eigentlichen Ablaufdatum geschah, wie von der Nachrichtenagentur Bloomberg impliziert wird, geht aus ASMLs offizieller Stellungnahme nur zum Teil respektive nicht hervor. Sie spricht von einer teilweisen Rücknahme durch die niederländische Regierung, ohne weitere Details zu nennen.

A license for the shipment of NXT:2050i and NXT:2100i lithography systems in 2023 has recently been partially revoked by the Dutch government, impacting a small number of customers in China.

ASML

ASML erklärte in diesem Zusammenhang zuletzt, dass Hersteller auf Unternehmensebene keine gravierenden Auswirkungen auf das Geschäft in Gänze erwarte. Hierzu beitragen dürfte, dass ASML hinsichtlich anderer Themen Fortschritte erzielt hat. Denn im letzten Jahr stand auch auf der Kippe, ob die Scanner-Familie rund um die Twinscan NXT:1970i und neuer ebenfalls von einem Export nach China ausgeschlossen werden könnten. Dies scheint nun jedoch zur Zufriedenheit von ASML ausgeräumt zu sein, ohne dass der Hersteller dabei ins Detail geht, Gerüchte besagten jedoch, dass das letzte abgesegnete Produkt ein rund zehn Jahre alter Twinscan NXT:1965Ci sei. Darüber hinaus ist die Nachfrage nach den jetzt vom Bann betroffenen Systemen auf globaler Ebene so hoch, dass der Ausfall der Kunden in China kompensiert werden dürfte.

In recent discussions with the US government, ASML has obtained further clarification of the scope and impact of the US export control regulations. The latest US export rules (published October 17, 2023) impose restrictions on certain mid critical DUV immersion lithography systems for a limited number of advanced production facilities.

ASML

SMIC und Huawei haben viel aus DUV herausgeholt

Dass DUV-Lithografiesysteme zuletzt verstärkt ins Rampenlicht rückten, ist unter anderem auch SMIC und Huawei zu verdanken. Mit klassischer Lithografie haben sie einen 5-nm-Chip entwickelt, der es mit westlichen Lösungen aufnehmen kann. Zuletzt kochten die Gerüchte hoch, dass es auch mit noch kleineren Strukturen nach „4 nm“ oder gar „3 nm“ funktionieren könnte. Mit exzessivem Multi-Patterning und angeblich nicht einmal dem Einsatz westlicher Technologie will das chinesische Unternehmen das schaffen, schrieb Nikkei im Dezember.

Doch ob es wirklich ohne ASMLs Technologie klappen wird, darf jedoch bezweifelt werden. Im letzten halben Jahr hat ASML viele Auslieferungen explizit in Richtung China gelenkt. Im dritten Quartal 2023 lag die Quote bei 46 Prozent des Umsatzes, nimmt man die 35 Prozent EUV-Umsatz heraus, die ohnehin nicht nach China gehen dürfen, blieb für den Rest der Welt keine 20 Prozent Umsatzanteil im DUV-Bereich übrig. Am 25. Januar 2024 werden die Zahlen für das vierte Quartal 2023 publiziert, hier könnte es noch einmal ganz ähnlich aussehen, bevor mit dem Exportbann zum Jahreswechsel die Trendwende kommt.