EUV-Systeme in Taiwan: Es gibt (k)einen roten Kill Switch bei TSMC oder ASML

Sensationell wird derzeit über die Möglichkeit zur Deaktivierung von EUV-Systemen in Taiwan etwa bei TSMC berichtet, sollte China eine Invasion in Betracht ziehen. Doch den dargelegten „roten Kill Switch“ gibt es so eher nicht, vielmehr wird er gar nicht benötigt, denn ohne Support und viel ASML-Personal läuft ohnehin nichts.

EUV-Systeme sind aktuell das beste, was der Markt im Umfeld der Chipfertigung zu bieten hat. Ohne ständige Überwachung, Justierung, weitere Anpassungen und Optimierungen durch eine Vielzahl an Leuten sowohl vor Ort als auch aus der Ferne in den Niederlanden bei ASML wird in dem System kein einziger Wafer belichtet. Auf diese Weise können die Systeme nicht nur verbessert, sondern im Fall der Fälle eben auch verschlechtert respektive sogar unbrauchbar gemacht werden.

TSMCs Mark Liu hat bereits vor zwei Jahren in einem Interview erklärt: Wenn China angreifen würde, wären TSMCs Fabriken nicht mehr funktionsfähig. Die Echtzeit-Anbindung an die Außenwelt und der extrem komplexe Support für die Maschinen in aller Art machen es quasi unmöglich, sie ohne Unterstützung in Betrieb zu halten. Unterm Strich ist die Möglichkeit der Deaktivierung der ASML-Maschinen respektive TSMC-Anlagen also weitaus weniger blumig, als aktuell dargestellt wird.

Chinas Rückstand bei der Technologie ist groß

Ausgangspunkt der neuen Berichte waren US-Medien, denn Politiker in den USA machen sich seit langer Zeit Sorgen darüber, dass Technologie in falsche, sprich Chinas Hände gerät. Viele der Handelssanktionen der USA und verbündeter Staaten zielen in diese Richtung, vor allem ASML gerät deshalb immer wieder in die Schusslinie. Handelssanktionen trafen zuerst ASMLs EUV-Systeme, die Auswirkungen waren jedoch gering, denn es gibt außerhalb Chinas viel Kundschaft für diese Lithografiesysteme. Seit kurzer Zeit sind aber auch DUV-Systeme von den Beschränkungen betroffen, hiermit erzielte Chinas Halbleiterindustrie zuletzt einige Erfolge.

Eigene Lithografiesysteme hat Chinas Industrie bisher nicht hervorgebracht, zumindest keine für eine State-of-the-Art-Fertigung. Ohne Systeme nicht nur von ASML, sondern auch Nikon, Canon und anderen Unternehmen würde Chinas Industrie in dem Bereich um mindestens zehn Jahre zurückhängen. Im letzten Jahr hieß es, die Industrie könnte nun bald eine echte eigene Maschine für die 28-nm-Chip-Produktion hervorbringen. 28-nm-Chips wurden in der westlichen Welt im Jahr 2011 in Großserie eingeführt.