ASML und China: Ausnahme für DUV-Systeme dürfte nicht verlängert werden
Die USA üben weiter Druck auf die Niederlande aus, ASML bezüglich China in die Schranken zu weisen. Die neue Regierung werden dem nachkommen, heißt es in Medienberichten. Gewisse Ausnahmen für DUV-Systeme, auf die sich alle chinesischen Halbleiterhersteller stark verlassen, sollen zum Jahresende auslaufen.
ASMLs DUV-Scanner sind das Rückgrat der Halbleiterindustrie, nicht nur in China, sondern auch bei nahezu jedem anderen Hersteller. Denn selbst wenn EUV zum Einsatz kommt, werden damit nicht alle Lagen belichtet, sondern nur einige, den Rest übernehmen DUV-Systeme. Und wenn, wie in China, auf EUV verzichtet werden muss, macht DUV fast alles.
Ohne Support funktioniert die Maschine nicht
Bereits seit Jahren sind die stetige weitere Lieferung und der Support von DUV-Systemen durch AMSL in Richtung China den USA ein Dorn im Auge. Denn damit werden Sanktionen ausgehöhlt. Chinesische Firmen schaffen es mit der Technologie inzwischen eigenständig 7-nm-Chips zu bauen. ASML erklärte im letzten Quartalsbericht, dass man auch weiterhin eigene Mitarbeiter direkt vor Ort in China hat, die beim Betrieb der Maschinen zur Seite stehen – so wie es ASML bei jedem Kunden macht. Ohne Wartung, Support und das ganze Ökosystem sind die Maschinen nämlich nicht funktionsfähig. Dies steht im Kontrast zu einigen US-Firmen, die auch ihre Mitarbeiter aufgrund der US-Sanktionen aus den Werken ihrer chinesischen Kundschaft abziehen mussten.
Neue Richtlinien zum Jahresende möglich
Der neue niederländischen Ministerpräsidenten Dick Schoof hat als ehemaliger Spionage-Chef – er war ab 2018 Generaldirektors des Allgemeinen Nachrichten- und Sicherheitsdienstes der Niederlande – einen etwas anderen Blick auf China und scheint nun zum Jahresende keine Verlängerung der Ausnahmegenehmigung abzusegnen. Dies würde sowohl Ersatzteile als auch den Service der moderneren DUV-Maschinen betreffen.
Was konkret alles betroffen sein würde, bleibt aber unklar. ASML hat diverse Generationen an Maschinen ausgeliefert, einige laufen seit fast 30 Jahren. In Branchenkreisen wird über ein Ende des Support für Lösungen, die vor rund zehn Jahren oder danach eingeführt wurden, spekuliert. Genau diese Gerätschaften braucht es aber, um moderne Chips zu fertigen.
Zu Beginn dieses Jahres trat die letzte Runde der verschärften Bestimmungen in Kraft. Seitdem ist es verboten, Scanner der Generation NXT:2050i oder neuer an China zu liefern. ASML erlebte in den letzten Quartalen einen Boom an Bestellungen durch China, stets rund die Hälfte des Umsatzes kam von da – alles, was noch erlaubt war, aber schon bald verboten werden könnte, wurde groß eingekauft.
Fabian und 
Jan-Frederik