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* zur Oberfläche (Fläche oder Länge*Breite) findest du wahrscheinlich Infos beim Hersteller oder in irgendwelchen Testberichten
* als Dicke kannst du mit der Dicke des Wafers rechnen.
* Die Dichte von Silizium findest du auf Wikipedia.
Aus diesen Daten kannst du dir über die Rechnung Masse=Volumen*Dichte deine Frage selbst halbwegs genau beantworten.
All zu weit bringt dich der Wert leider nicht Nasenbär, da im Anschluss an die gesamte Fertigung (also wenn die ganzen Strukturen drauf sind), der Wafer von unten noch dünngeschliffen wird damit er ins Gehäuse passt.
Aber zumindest eine Tendenz wird man damit absehen können, jedenfalls wiegen die nicht viel