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Bei Lithografiesystemen für die Chip-Herstellung fällt als erster und bekanntester Name stets ASML. Doch auch Nikon und Canon sind noch mit dabei, letzterer expandiert nun kräftig. Mit neuen Technologien will man ASML ein wenig herausfordern, diese bleiben bei EUV aber einziger Anbieter.
Zur News: Lithografie-Technologie: Canon will mit neuer Fab Kapazität verdoppeln
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