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Der niederländische Konzern ASML als weltgrößter Hersteller von Lithografiesystemen hat sich in zwei Veranstaltungen zum aktuellen Stand der nächsten Generation von Belichtungssystemen für Wafer, der sogenannten „extreme ultraviolet“ (EUV), geäußert. Demnach hat der Konzern bereits zehn Bestellungen für 2012 erhalten.
Zur News: ASML auf Expansionskurs mit EUV-Equipment
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