News ASML: 10 EUV-Systeme für die Chip-Fabrik der Zukunft ausgeliefert

[Homoioteleuton]

Wow, dann wird ein Wafer ja nur 14Sek belichtet >_>

nicht zwangsläufig. du kannst auch mehr als einen Wafer auf einmal belichten

 

[JiJiB!]

Wärend 1 Wafer belichtet wird, wird an einem zweiter Wafer gemessen, wie die Belichtung verlief. Also zumindest mit aktuellen Maschinen wird nur 1 Wafer zur gleichen Zeit belichtet Stichwort Chucks.