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Im Rahmen der Quartalszahlen hat der niederländische Fabrikausrüster ASML auch einen Blick in die Zukunft gewagt. Demzufolge soll im zweiten Quartal mit der NXE:3300B die erste Maschine für den großflächigen Einsatz der neuen EUV-Lithografie ausgeliefert werden, bis zum Jahresende sollen es insgesamt elf werden.
Zur News: ASML: EUV-Systeme ab Q2/2013, 450-mm-Wafer frühestens 2018
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