r4yn3
Admiral
- Registriert
- Mai 2006
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- 7.691
Als jemand der in der Fertigung von solchem Equipment arbeitet kann ich nur sagen: Gut so. Hieß vor Jahren schonmal, wird verschoben. So 300mm Bondsysteme sind schon verdammt wuchtig, bei 450mm bräucht ich für jede Komponente zum montieren einen mobilen Kran.
An der Wafergröße hängen viel mehr Sachen als einfachr nur ein 450mm großes Stück Silizium. Wie schon erwähnt das immer schwerere Handling. Bei Lithographie Maschinen wird es immer schwieriger, die Ausleuchtung auf eine solche Fläche gleichmäßig zu verteilen, ebenso die Verteilung der Druckgleichmäßigkeit bei Bondsystemen.
Ebenfalls problematisch ist, mit immer größeren Volumen in den diversen Vakuumkammern erhöht sich die Dauer von evakuieren und belüften, was jetzt viel Zeit kostet.
Alles in allem würde sich vieles negativ auf die Yields auswirken. Und wie man sieht, hat man jetzt schon Probleme bei den immer kleineren Strukturgrößen, die Yields in akzeptable Bereichen zu bekommen. Wenn man dann noch nebenbei die Probleme bei so großen Anlagen lösen soll juckt das halt keinen der Großen. Und kleine Firme leisten sich das schon zweimal nicht.
Unsere Firma mag zwar nicht zu den großen zählen, aber ich hab bei uns erst 2 450mm Module gesehen, Wafer leider noch keinen.
An der Wafergröße hängen viel mehr Sachen als einfachr nur ein 450mm großes Stück Silizium. Wie schon erwähnt das immer schwerere Handling. Bei Lithographie Maschinen wird es immer schwieriger, die Ausleuchtung auf eine solche Fläche gleichmäßig zu verteilen, ebenso die Verteilung der Druckgleichmäßigkeit bei Bondsystemen.
Ebenfalls problematisch ist, mit immer größeren Volumen in den diversen Vakuumkammern erhöht sich die Dauer von evakuieren und belüften, was jetzt viel Zeit kostet.
Alles in allem würde sich vieles negativ auf die Yields auswirken. Und wie man sieht, hat man jetzt schon Probleme bei den immer kleineren Strukturgrößen, die Yields in akzeptable Bereichen zu bekommen. Wenn man dann noch nebenbei die Probleme bei so großen Anlagen lösen soll juckt das halt keinen der Großen. Und kleine Firme leisten sich das schon zweimal nicht.
Unsere Firma mag zwar nicht zu den großen zählen, aber ich hab bei uns erst 2 450mm Module gesehen, Wafer leider noch keinen.