Notiz Kabel durchtrennt: Bauarbeiten sorgen für Stromausfall in TSMC-Fabrik

[UweW.]

Das wird in dem Fall wohl stark von den Geräten abhängen. Wenn ein Gerät (RIE, Ionen-Implanter, whatever) nur ein paar ms Ausfall überbrücken kann, muss auch die jeweilige USV schnell genug sein.

Ne RIE muss hoffentlich seit 25 Jahren keiner mehr außer armen Instituten verwenden. Seither gibt es Anlagen, wo ich Horden einsetzen oder Smithboxen anhängen kann.
(Ich muss seit ein paar Monaten an einer RIE arbeiten. )

Bei den Implantern hängen nur die PCs und eventuell noch ein paar Controller (hoffentlich die Uniformity-Controller) an der USV. Aber bei einem Stromausfall, der länger als ein paar Millisekunden ist, schalten die Turbos ab und die Cryos wärmen sich auf. Das gleiche bei allen Plasmaanlagen.
Ähnlich siehts bei den Öfen aus.
Die Stepper bleiben auch komplett stehen.
Reinigungsprozesse in der Nasschemie kommen mit einem blauen Auge davon. Bescheiden siehts beim nasschemisch strukturieren aus.