Weyoun
Admiral
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Den Großteil des Platzes benötigen Klimaanlage und Raumluftfilterung. Für 5 nm-Strukturen benötigt man die höchstmögliche Reinraumklasse.jk1895 schrieb:Was sind denn das für abartig große Bunker (oberstes Bild)?! Warum brauchen so kleine Bauteile nur so viel Platz? 🤪
https://de.wikipedia.org/wiki/EN_ISO_14644
Ergänzung ()
Bei der EUV-Lithografie gibt es einige Schritte, die auf EUV basieren und einige, die auf herkömmlicher Litografie basieren. Bis bei EUV-Litografie alle Schritte mit ultraviolettem Licht erfolgen, vergeht noch einige Zeit.SoDaTierchen schrieb:Wirklich? Wo wird das in der Praxis genutzt?