@makus Das hier in ein paar Zeilen zu erklären, dürfte den Rahmen sprengen. Ich versuche es mal so kurz es geht
Eine Fab besteht normalerweise aus einem riesigen Reinraum einer hohen Klasse (also extrem wenig Partikel pro m³ Luft). Da geht dann viel Platz und Geld für die Lüftung und Filterung drauf (ein Reinraum hat übrigens auch sehr hohe laufende Betriebskosten). Da hinein kommt eine Menge hoch spezialisierter Geräte, die nicht nur ihren Job tun müssen, sondern ihrerseits wieder reinraumtauglich sein müssen, also z.B. bei Bewegungen keinen Abrieb erzeugen dürfen, keine Schmiermittel ausgasen dürfen usw. Wie bereits gesagt, sind diese speziellen Geräte aufgrund der geringen Stückzahlen und des sehr hohen Forschungsaufwands extrem teuer. (Selbst an einer normalen Uni kosten die Geräte locker mal 5- oder 6-stellige Beträge. Einfach weil sie nur zu dutzenden und nicht zu zigtausenden verkauft werden.)
Die Belichtungsmaschinen sind wiederum Meisterwerke der Technik. Sie beinhalten die Masken, Belichtungsoptiken, Strahlformung, Strahlungserzeugung und vermutlich noch einiges mehr. Die verwendete Strahlung muss sehr kurzwellig sein, um möglichst kleine Strukturen auf den Chips zu ermöglichen. Leider sind extrem kurze Wellenlängen (z.B. EUV) schwer zu erzeugen und noch schwerer zu beeinflussen.
Leider ist Lithografie nicht mein Spezialgebiet und ich habe nur einen groben Überblick. Ich kann dir jedoch versichern, dass die Geräte wirklich sauteuer sind und es viele Probleme gibt, die man als Laie heute gar nicht erwartet hätte. Die EUV-Anlagen hatten z.B. das Problem, dass die Strahlung zwar erzeugt werden konnte, aber ein gewisses Leistungsniveau nicht erreicht wurde, einfach weil die Lasertechnik noch nicht ausgereift genug war. Das hätte bedeutet, die Belichtungszeit verlängern zu müssen -> weniger Durchsatz -> unrentabel. Keines der Geräte kann man so "von der Stange" kaufen, das sind alles die modernsten Geräte auf dem aktuellen Stand der Technik. Gerade zur EUV-Technik müsste es auch viele Infos im Internet geben, kannst ja mal googeln
z.B.
How An EUV Light Source Works