TSMC Maskensatz Unboxing

[M.tze]

Hallo zusammen,

ich habe vor einiger Zeit für einen Kunden einen Chip entwickelt; leider hatte diese Chip einige wenige Fehler und es musste eine Maskensatz Revision durchgeführt werden. Mit diesem Kunden habe ich ein gutes Verhältnis und ich durfte mir diese Fotomasken zur Ansicht und als Lehrbeispiel zusenden lassen. Ich dachte es könnte jemanden Interessieren, daher einige wenige (und eigentlich nicht spannende) Fotos, wie so ein Maskensatz von TSMC einem zugesendet wird und wie so eine Fotomaske eigentlich aussieht...

 

[duAffentier]

Und nun?
Ich hab in der Lehre noch ein eigenen Wafer bearbeitet und Chips im Labor damit hergestellt

 

[andi_sco]

@M.tze kannst du die Masken noch besser fotografieren?
Ist immerhin mal nichts alltägliches

 

[Xiaolong]

Und ich war knapp 1 Jahr bei TSMC in Taiwan vor Ort um Sachen zum laufen zu kriegen und die Produktion zu begleiten. Und jetzt?

Es wäre für Anfänger (so deute ich den Post jetzt einfach mal) besser man würde was dazu schreiben, zu den wichtigsten Fragen, wie, was und warum? Bilder von Masken sind naja, auch mit Google zu finden.

 

[LamaMitHut]

IMHO ist das ne News auf der Mainpage wert.

Sehr spannend, danke fürs teilen

 

[Ironbutt]

Sehr cool!

ein paar Nahaufnahmen der Masken wären interessant.
Und vielleicht kannst du uns ein paar Hintergrund-Infos geben, was das ungefähr ist, der Prozesss, alles was halt interessant sein könnte.

 

[M.tze]

Und nun?

Und jetzt?

Wie gesagt, für die, die es interessiert... wenn euch nicht, okay 😊

Ich hab in der Lehre noch ein eigenen Wafer bearbeitet und Chips im Labor damit hergestellt

Klingt auch spannend, bei X-FAB oder bei ELMOS?

Und ich war knapp 1 Jahr bei TSMC in Taiwan vor Ort um Sachen zum laufen zu kriegen und die Produktion zu begleiten.

Das wundert mich. Den Taiwanesen müssen wir Europäern eigentlich nicht erklären wie es funktioniert. Das musste ich nicht mal dem OSAT aus Taiwan, der die Wafer auf den Chuck wirft.

Und vielleicht kannst du uns ein paar Hintergrund-Infos geben, was das ungefähr ist, der Prozesss, alles was halt interessant sein könnte.

Nichts spannendes - zumindest soweit ich erzählen kann. Der Prozess ist 180 nm also relativ grob für moderne Verhältnisse, dafür aber schlichtweg billig ist. Es handelt sich um die Fotomaske 181, also die erste Metalllage (MTL1). Man sieht, dass die Maske so groß wie eine Hand ist, aber der Stepper durch die Projektion auf etwa 20 mm x 20 mm projiziert (Reticle Größe). Hochauflösende Fotos will ich nicht liefern, da in der Scribe-Line TSMC IP ist (Teststrukturen für PCM). Will ja kein Ärger bekommen 🤔

Was noch spannend sein könnte: Eigentlich ist die Fotomaske in einer Kassette, die man in den Stepper legt. Dieser zieht die Fotomaske dann aus der Kassette vollautomatisch und belichtet den Wafer. Die Kassette wurde aber nicht mit geliefert und ist deswegen nicht zu sehen.

 

[w33werner]

Danke für die Fotos und Infos schaut interessant aus

 

[Xiaolong]

Das wundert mich. Den Taiwanesen müssen wir Europäern eigentlich nicht erklären wie es funktioniert. Das musste ich nicht mal dem OSAT aus Taiwan, der die Wafer auf den Chuck wirft.

Normalerweise nicht da hat du natürlich recht. Wenn deine Entwicklungsabteilung und der Kunde aber gepennt hat und dadurch ein signifikanter Prozentsatz der prozessierten Chips durch deinen Prozess zu Schrott verarbeitet werden, werden die Damen und Herren einen Teufel tun das für dich zu fixen. Da darfst du dann schön selber ran Vor Ort mit der ganzen Mannschaft.

Und so eine Operation am offenen Herzen inmitten der Fab während die Produktionsleitung hinter dir steht ist nicht angenehm.

 

[duAffentier]

Klingt auch spannend, bei X-FAB oder bei ELMOS?

ZMD - ein Urgestein in Sachsen bzw DDR...