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NewsDeutscher Zukunftspreis: Forscher-Team um Zeiss gewinnt für EUV-Lithografie
@HansvonderWurst: Ich habe geschrieben, dass man das mit Magnetronsputtern macht (ich denke DC), nicht Ionenstrahlsputtern. Und natürlich macht man das nicht auf kleinen Pilotanlagen (könnte aber gehen), aber z. B. mit einer größeren (ich denke es heißt MS 1600 oder sowas) von Roth & Rau (heute: Meyer Burger) geht das sicher (benutzt man auch in der Forschung und Zeiss sollte solche auch haben/gehabt haben in der Art). Wobei das natürlich auch ein antiker Verdampfer ist Aber ein guter, mit dem man sehr viel machen kann.
Man hat beispielsweise eine Anforderung wie "über einen 200-mm-Wafer hinweg darf sich die Beschichtungsdicke zwischen Mittelpunkt und dem Randbereich nur um 5 Pikometer verändern". Das geht also nur wenn man absolut perfekte Kristalle auf dem Wafer hat.
Ich finde hier eher spannend das dabei keine Probleme mit Wafer-Bow entstehen? Oder liegt es daran, das die Schicht so extrem dünn ist?
Ich habe mal Schichten von ein paar Hundert Angstrom aufgedampft. Ist aber 20 Jahre her.
Ergänzung ()
floh667 schrieb:
Eins finde ich gerade interessant. Jammern doch immer viele, Deutschland sei so hinterher was die heutige Industrie angehe und würde überholt werden etc.
Bis "gestern" wurde weltweit erst mit Maskalignern (Karl Süss - Garching-Hochbrück) und danach mit Steppern belichtet. In unzähligen Uni-Reinräumen stehen immer noch die Karl-Süss Belichter oder etwas neuer die Direkt-Wafer-Belichter von Heidelberg Instruments.
Ofen-Technik kommt aus Blaubeuren (Centrotherm) und muss sich nicht vor irgendwelcher Konkurrenz verstecken. Nochmal Öfen - den einzigen Ofen mit verfahrbarer Heizkassette habe ich bisher nur von Inotherm gesehen.
Belacker kamen mal von Convac (Vaihingen-Enz) -> gehört heute zu Süss.
Vollautomatische Beckenanlagen hat bis vor einigen Jahren Lotus Systems gefertig - heute zu Ramgraber (M-Brunnthal) gehörend. Und wenn wir schon bei Ramgraber sind - die bauen neben Digistorien inzwischen erfolgreich Sprühätzer.
Das ist mir bewusst, aber Globalfoundries (ehemals AMD) ist ja "nur" ein US amerikanischer Auftragshersteller, der in DD eine Chipfabrik stehen hat. Das Deutsche dabei sind höchstens die Mitarbeiter...
Nicht falsch verstehen, das ist natürlich trotzdem toll, aber nur weil die Fabrik hier steht, sind "wir" ja nicht automatisch führend beim Chipdesign. Sonst wäre Foxconn weltweit führend beim iPhone Design, obwohl es bloß bei ihnen gefertigt wird.
Man muss aber schon auch im Hinterkopf behalten das die Welt nicht nur aus High End nm Chiptechnologien besteht. Wir hier in Deutschland haben auch aus dem Halbleitersegment immer noch sehr beachtliche Technologien, du wirst weltweit
-> kaum ein Smartphone ohne die Mikrofone von Infineon finden und die RADAR Chiplösungen von Infineon auch Weltmarkführend (das dürften um die 45 aufeinander abgestimmte Beschichtungsebenen im Chip sein!)
-> kaum High End Devices (Smartphone, Automobil, ...) ohne optoelektronische Komponenten von OSRAM
-> und Bosch mit Sensoriklösungen im Automobilsektor braucht sich auch vor niemanden zu verstecken
die High-End Transistortechnologie findest du hier natürlich nicht, aber wir haben hier in Deutschland trotzdem noch viele höchst innovative und komplexe Produkte. Gerade wenn es weg vom "Straight Forward" Silizium Halbleiter geht hin zur Nitrid/Phosphid-Halbleitern und Mikromechanik Komponenten bzw. MEMS Hybridkomponenten. Auch bei Leistungshalbleiter müssen wir uns verstecken, da gibt es z.B. den Semikron.
Total merkwürdig, die ganze Branche hat ein Kommunikationsproblem! Hatte da mal einen von X-Fab (wie Bosch groß im Geschäft mit MEMS und auch in Dresden sitzend), der wollte mit mir kein Wort mehr reden als ich fragte, die das isotrope Ätzen realisiert wird. Das war nicht nett :/
Das ist dann auch so ein weiteres lustiges Thema neben der Physik und Regelungstechnik der Belichtung. Die Chemie und Physik. Die Fotolacke müssen ja auch halbwegs konsistente Schichtdicken erreichen und selektiv in Strukturen aushärten, die so groß sind wie die eigentlichen Halbleiterstrukturen. Beim Ätzen dann besagte Isotropie.
Artikel lesen und verstehen. Nein, Trumpf macht damit Geld und liefert den Laser an ASML..
Ergänzung ()
Pana schrieb:
EInen Spiegel zu bauen, der bei einer Größe von Deutschland eine max. Höhenabweichung von 0,5mm hätte, dass ist im Grunde "Alien-Technologie". Je mehr man darüber erfährt, desto verrückter wird es. Allein die Klimatisierung! Temperaturabweichung muss unter 0,0005°C liegen. Das ist surreal.
Wie war da mal der Spruch in einem Film (oder Serie) - Ist der technologische Fortschritt nur groß genug - wirkt er auf weniger entwickelte Civilisationen wie Zauber/Magie.... 😁
[QUOTE="Solartechnik waren wir ja auch mal mit an der Weltspitze, bis unsere Regierung "durchreguliert" hat.
[/QUOTE]
Du vermischt da was. Europa hat versäumt seine Solarindustrie zu schützen durch staatliche Maßnahmen, Subventionen, Zölle etc.
Die Durchregulierung ist wieder ein anderer Schuh und hat hier mehr mit politischer Positionierung zu tun. (Die CSU meint immer noch erneuerbare Energien sind super bliß nicht in Bayern und würd wahrscheinlich liebend gern die Atommeiler weiterlaufen lassen.)
Ne, Zeiss liefert ja die Optiken für diese Maschine.
Eins finde ich gerade interessant. Jammern doch immer viele, Deutschland sei so hinterher was die heutige Industrie angehe und würde überholt werden etc.
Diese Nachricht hat mich gerade gelehrt, dass deutsche Forschung der Grundstein für die moderne Halbleiterfertigung überhaupt ist. D.h ohne diese Arbeit könnten AMD, Intel und Co ihre neuen Prozessoren gar nicht erst fertigen.
So viel zum Thema Deutschland Entwicklungsland.
In Deutschland gibt es eben besonders viele "Hidden Champions", Unternehmen, die auf Ihrem Gebiet führend, aber nicht so groß sind, dass der populäre Durchschnitt sie kennen würde.
Gut, angesichts von Umsätzen im Millardenbereich gehören Zeiss und Trumpf jetzt nicht unbedingt zu dieser Gruppe. Dennoch hat man deren Produkte und Markennamen eben nicht ständig vor der Nase, so dass sie dennoch oft unbekannt sind, wenn man nicht in der Materie steckt.
Wie dem auch sei, die ausgezeichnete Leistung ist beeindruckend und die beteiligten Unternehmen gehören definitiv zum vielbesungenen "Tafelsilber" der deutschen Wirtschaft.
dichter-karl schrieb:
Die Durchregulierung ist wieder ein anderer Schuh und hat hier mehr mit politischer Positionierung zu tun. (Die CSU meint immer noch erneuerbare Energien sind super bliß nicht in Bayern und würd wahrscheinlich liebend gern die Atommeiler weiterlaufen lassen.)
Ich bin da ganz ehrlich, Atommeiler sind mir lieber als Kohlemeiler. Sind sauberer und strahlen im Betrieb (!) weniger. Die Frage mit dem Atommüll ist natürlich ein Problem, aber als Brückentechnologie ist Atomstrom meiner Meinung nach unverzichtbar. Dass Deutschland nach Fukushima spontan und unüberlegt den Abschied von diesem Ansatz eingeleitet hat, war und ist ein großer Fehler.
Ja, die Technologie von Zeiss, Trumpf etc sind schon Weltklasse; was mich aber bedenklich stimmt ist daß, wenn ich's richtig weiß, die EUV Technologie an der diese Firmen großen Anteil haben, in keiner einzigen Fab hier in Deutschland eingesetzt wird. Die GloFo Anlage in Dresden sucht ihr Heil in Nischen, und auch sonst riskiert man hier, die Technologiekompetenz mittel- und langfristig zu verlieren. Eigentlich schade!
Nicht nur dort. Es sind noch ein Haufen anderer Zulieferer in Europa beteiligt.
Ich arbeite bei Trumpf und war erst vor kurzem wieder bei einem unserer Kunden aus der
Metallverarbeitung in Österreich zu besuch.
Die haben riesige Reinräume exclusiv für ASML aus dem Boden gestampft und
deren Fertigungsabteilung leistet erstaunliches direkt zusammen mit den ASML Ingenieuren
wo deren eigene Ingenieure oft schon das Handtuch werfen.
Für den Prototypenbau und die Serienferitigung der ASML Belichtungsmaschinen.
Natürlich auf Trumpf Software konstruiert, geplant und gefertigt mit Trumpf Flachbettlasern,
gebogen mit Trumpf Biegemaschinen etc.
Ergänzung ()
Markenprodukt schrieb:
Ganz oft ist das Problem aber der Tiefbau und nicht unbedingt die Telekom.
Dazu kommt das kaum noch jemand körperlich arbeiten möchte. Fachkräftemangel.
Bei mir im Landkreis war eine Tiefbaufirma am Gang, die kamen aus dem Ruhegebiet. Ich wohne bei Bremen.
Dazu gesellt sich dann der gute Bürger, der mit irgendwelche Initiativen einen Ausbau stoppt oder erst einmal aufhält.
Ich war grad letzte Woche in einer Stadt in Franken mit über 14000 Einwohnern.
Wo sich die grossen Firmen das Industriegebiet teilen und es mehrere
Werke der gleichen grossen Firma gibt, bei welcher ich zu Besuch war.
Da gehst du abends in ein gutes Hotel mitten in der Stadt, welches im Moment so gut wie
gar nicht belegt ist. Bist also einer von wenigen im Hotel.
Hast vollen WLAN Empfang und trotzdem bricht der Twitch oder Youtube Stream alle paar Sekunden ab.
Dann machst dir nen Hotspot auf auf zwei verschiedenen Geräten mit zwei verschiedenen Netzen auf, hast mehr oder minder ziemlich vollen LTE Empfang und es wird nicht besser. Ständig Unterbrüche, ständig
Empfangschwankungen von ein paar Balken. Auch das Telefonieren über Signal oder Threema kannst auf allen Netzen vergessen, ständig Unterbrüche. Und da braucht Signal und Threema recht wenig Bandbreite.
Das erlebe ich leider viel zu oft in Deutschland. War die ganze Woche so, also nicht nur an einem spezifischen Abend.
Ich bin hier grad auf 1850 müM in der Schweiz in einem 700 Seelen Dorf und surfe in dem Moment über einen LTE Router, welcher gerade 150/90 Mbit bringt, bei einem Ping von 17-25ms.
Da kann man also auch locker drüber zocken. Die Signalstärke bleibt konstant.
Wenn das Netz ausgelastet ist, werdens evl mal 60/40, aber viel schlechter wirds nicht.
Und das ist hier der dritte, eher günstige Provider mit eigenem Netz.
Auch bei meiner Arbeitsstelle abseits gelegen von einem 3000 Einwohner Städtchen
hat man jederzeit um die 90-120 Mbit in den LTE Netzen, immer während der Bürozeiten,
wenn 2000 Mitarbeiter auf dem Gelände sind und die Meisten ein Firmenhandy haben
und die Meisten dazu noch ein Privates.
Und das Firmengelände liegt komplett in der Pampa.
Oder im Zug mit dem eher günstigen Provider, bis auf ein paar alte Tunnels durchgängig Empfang
und immer ordentliche Bandbreite.
Zum Teil sogar Signalverstärker/Repeater in den langen Tunnels.
Aber ein guter, mit dem man sehr viel machen kann.
