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NewsElektronenstrahllithografie für die Massenfertigung?
Wissenschaftler des Research Laboratory of Electronics (RLE) am Massachusetts Institute of Technology (MIT) haben Fortschritte bei der Elektronenstrahllithografie gemacht, dank derer sich die Technik in Zukunft als Ersatz für fotolithografische Verfahren bei der Massenproduktion von Halbleiterchips nutzen lassen könnte.
Interessant. Na da streu ich mal ein bissl Salz auf meinen alten Röhrenmonitor, während er ein Bild vom Die von Sandy Bridge wiedergibt. Evtl wirds was
Mal im Ernst, schon krass was heutzutage alles möglich ist.
Mir ist es jetzt schon ein Rätsel wie man mit Wellenlängen von weit über 100nm Strukturen herstellen kann die nur ein Bruchteil dessen groß sind. Krass!
Sofern wir dann mit EUV bei den.... 5-6nm ? war dies das minimum ? Angekommen sind werden weitere alternativen gesucht! Logischerweise forschen sie schon jetzt daran, dass sie dann bereit ist. Aber standard mässig eingesetzt wird sie wohl noch sehr sehr lange nicht.
ich denk mir grad noch wow, ich finds sowieso schon den absoluten hammer was die da so im nanometerbereich packen und jetz wirds noch kleiner bzw effizienter irgendwann wird das ganze glaube ich zu krass für die menschen und dann werden maschinen das ganze denken und basteln übernehmen...
ja soweit ich das im Kopf hab sollen bei 6nm schon Kohlenstoffröhrchen unser weg zum Glück sein, bis dann vielleicht mal irgendwann der Sprung zum Serienreifen Quantencomputer kommt.
Gerade durch diese Grenze wundert es mich das Intel bei den Fertigungsgrößen nochmal richtig anziehen will ... vielleicht fürchten sie aber das etwas besseres dann bereit ist und sie deshalb ihr know how vorher noch bringen wollen ...
mal schauen was kommt, aber Silizium hat bald fertig
Ja, so einfach lässt sich das mit den Linsen aber auch nicht "bündeln".
Ihr könnt euch das ja nicht so vorstellen, dass der gesamte Lichtschein einen Durchmesser von x nm besitzt, sondern eine einzige Welle
Weil Lithografie "in irgenwas reinritzen" bedeutet und soweit ich weiss werden die Strukturen immernoch erzeugt indem man Material aus einer Schicht abträgt.
Ich halte die Bezeichnung "Speisesalz" für hochreines NaCl für ein wenig unangebracht. Sowohl Reinheit als auch Preisunterschied sind erheblich.
Ja, langsame Elektronen streuen bevorzugt, weshalb sie sich ja auch hervorragend für spektroskopische Methoden eignen. Ich hätte nicht gedacht, dass die großen Elektronen noch der Erzeugung solch feiner Strukturen dienen würden - eher Röntgenstrahlung.
Nach De Broglie kann man Materie eine Wellenlänge zuordnen: Lambda = h / p
Während EUV von unten in Soft X-Ray (10nm - 100pm) übergeht, schließt sich die Wellenlänge von Elektronen oben an Hard X-Ray (100pm - 10pm) an. Mit obiger Formel erhält man unter Einbeziehung relativistischer Effekte z.B eine Wellenlänge von 12.3 pm bei 10kV und 2.5pm bei 200kV Beschleunigungsspannung.
Damit wäre auch die Frage beantwortet was kommen wird. Vor Monaten hatten wir uns gefragt, wie und was kommt um unsere Proxis noch schneller zu machen und vorallem kleiner...