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NewsNikon kündigt 450-mm-Wafer-Scanner für 2015 an
Nikon wird für die Research Foundation der State University of New York einen ArF-Immersions-Scanner produzieren, der 450 mm große Wafer herstellen kann. Die Maschine soll dem Global 450 Consortium (G450C) mit Hauptsitz am College of Nanoscale Science and Engineering (CNSE) zur Verfügung stehen.