Bericht Vom Silizium zum Die: So werden aus Wafern im Reinraum Chips

[ToBu91]

Super Artikel von euch!
Fand auch schon den Artikel über die Netzteil-Fertigung sehr interresant und lesenswert.

Danke nochmal für die beiden Artikel. Würde mich freuen mehr dieser Art von euch zu lesen.

 

[kleinstblauwal]

Sehr schöner Artikel der auch mal hinter die Kulissen schaut. Hier ging es jetzt aber nur um das Aufbringen von Metallstrukturen, zur Herstellung und Kontaktierung von Helbleiter-Transistoren ist noch etwas mehr nötig, die Grundlagen von Litographie-Prozessen wird aber gut gelegt.

Zur Fertigung aktueller Mikrochips sollte aber vielleicht noch erwähnt werden, dass nicht nur Staub ein großer Feind ist sondern auch Schwingungen. Deswegen sind entscheidende Teile der Chipfertigung auch mehrfach entkoppelt.

 

[confuso]

@Autor, die Litho hat sicher deswegen etwas von ihrer Mystic verloren, weil es eine Handlitho war. Bei einer professionellen Prozesslinie, bei der alles automatisiert läuft, sieht das schon wieder ganz ganz anders aus ;-)

Ist üblicherweise flüssiges Helium.
Unsere Pumpe schaffte damals 2*10^-7mbar, wenn man über Nacht pumpen ließ

Edit: Um HF habe ich immer einen großen Bogen gemacht. Gruseliges Zeug!

Na e-8mbar is auch nicht wenig, wir haben normalerweise in unserer MBE einen Basisdruck von 1 bis 5e-11mbar. Ein Freund in einem spezialisiertem Labor schafft es noch deutlich darunter.

Aber um die HF mach ich auch einen großen Bogen. Hab aber auch schon Leute getroffen, die da ziemlich sorglos mit umgehen. Naja ist ja deren Sicherheit und wenn sie auch noch warnungsresistent sind kann man nichts machen.

 

[tdklaus]

Danke für den Artikel. Ich weiß nur nicht, ob den Lesern klar genug gemacht wird was da vorgestellt wird: Herstellungstechnik der (späten) 1970er Jahre. Daraus ist bis heute das bei weitem komplexeste technische Verfahren auf diesem Planeten geworden.
Vorschlag für eine Fortsetzung: nehmt stellvertretend einen der vorgestellten Prozesse und stellt die Entwicklung in 10-Jahres-Sprüngen dar. Dann fällt noch mehr Lesern der Unterkiefer ins Bodenlose ;-)

 

[Chyraan]

schöner Artikel

immer toll zu sehen wie es in anderen Laboren aussieht. Gott sei Dank ist es in meines (Raumfahrt für den Weltmarkt, Made in Germany) etwas heller und nicht so gelblich

Hier stand Mist

 

[nebulus]

Hier ist es sehr gut erklärt !

https://www.youtube.com/watch?v=OD011kGRrww

 

[Bully|Ossi]

@Chyraan
Ich denke die meinen eher Flusssäure, und nicht hlHochfrequenz.

 

[flo36]

@Chyeaan: Ich glaub er meint das andere HF^^ das Chemische

@Thema: Interessanter und doch kurzer Artikel der einem die Basis der Halbleiterfertigung näher bringt. Man muss ja nicht gleich erfahren wie 3D NAND mit 64 Schichten entsteht usw.

 

[robertsonson]

Danke für den Artikel. Ich weiß nur nicht, ob den Lesern klar genug gemacht wird was da vorgestellt wird: Herstellungstechnik der (späten) 1970er Jahre.

ach deshalb ist das auch alles so gelb, die bilder sind aus den 70ern j/k

schöner interessanter artikel.
immer wenn ich wafer sehe muss ich an dieses video denken: https://www.youtube.com/watch?v=zri1PFQOijw
hoffe sowas ist bei eurem besuch nicht passiert

 

[sdfighter]

Vielen Dank für den Artikel! Eine sehr interessante Lektüre um Leien (wie mir) einen Eindruck über die angewandte Technick zu verschaffen. Gut geschrieben und mit Bildern hinterlegt um hier auch visuell zu verstehten, was ansatzweise passiert.

 

[sLyzOr]

€: spiegelung verwechselt

 

[Ra9n@R0Ck]

Die transparente Scheibe ist doch die Maske aus Quarzglas...

 

[DFFVB]

Guter Artikel und die Frage die ich mir schon seit 20 Jahren stelle ;-) Allgemeines Thumb-Up für die Serie mit praktischen Insights (Netzteile etc.) find ich gut!

 

[xcsvxangelx]

Danke ein sehr guter und informativer Artikel, der mir als Laien die Lithografie oder zumindest die Grundlagen derer näher bringt. Gerne mehr davon.

 

[DerNiemand]

An die Pumpenfraktion mal die Frage eines interessierten Laien: Nach euren Aussagen scheint eine "simple" Drehschieberpumpe in Kombination mit einer Kryopumpe zum Aufbau eines (Ultra-)Hochvakkuums ausreichend zu sein. In der Theorie lese ich aber auch immer wieder vom Einsatz einer Turbomolukularpumpe zwischen den beiden oben erwähnten. Kommt ihr in euren Systemen tatsächlich ohne aus?

Danke und Grüße

Ah verdammt, hab tatsächlich die Turbopump vergessen zu erwähnen Davon haben wir auch eine und dann halt die Iongetter. https://de.wikipedia.org/wiki/Ionengetterpumpe

 

[Basischov]

Sehr interessanter Artikel, auch wenn er für den Durchschnittsleser teilweise zu viel Fachwissen voraussetzen wird. Sieht mir auch nach einer ganz schönen Plackerei aus, aber die physikalisch-chemische Arbeit in solchen Größenordnungen erfordert bisweilen Aufwand. Ich beneide die Kollegen aus der pharmazeutischen Chemie jedenfalls nicht um ihre teilweise zwei- bis dreistellige Stufenanzahl bei Synthesen.

Zur Flusssäure: Angst muss man davor nicht haben, sofern man sich im Labor angemessen verhält und die Sicherheitshinweise beachtet. Ich habe schon zig mal damit gearbeitet und kenne persönlich keinen Fall von Verätzungen mit Flusssäuren.
Man sollte sich eben vorher überlegen welche Haltung man im Labor an den Tag legt, denn ist bei Flusssäure das Kind erst in den Brunnen gefallen, bleiben oftmals sehr schlecht heilende Wunden zurück (Ausfällung von Calciumfluorid und Zerstörung von zellulären Strukturen) und abhängig von der Exposition tritt der Tod ein. Hängt auch von der medizinischen Erstversorgung ab, aber es gibt eine Grenze ab der man im Grunde nur noch beten kann.

 

[MichiLH2]

https://www.youtube.com/watch?v=SeGqCl3YAaQ

 

[Thomas B.]

Ein Fehler ist mir aufgefallen: Nach dem Entwickeln ist der Lack auf der Fläche noch vorhanden, nur in den grün-rötlich schimmernden Regionen wurde er ENTFERNT!
Sonst wäre ja alles nachher voller Nickel, und nicht nur die Heizdrähte.

Die grün-rötlich schimmernden Bereichen sind der Lack, auf den restlichen Flächen wurde er entfernt: Das passt so, sieht man auch auf dem Bild vom Wafer nach Beschichtung und Lift-off. Es ist tatsächlich ein großer (nicht für die Heizelemente benötigter) Bereich mit Nickel beschichtet, aber das stört am Ende nicht bzw. macht keinen Unterschied, denn ob dort nun Lack ist oder nicht - aufgedampft wird ja immer.

 

[DerNiemand]

Angst vor Flusssäure muss man nicht haben, aber Respekt. Es ist dabei eher das Problem, dass Fluor sich an die Nervenemitter hängt und somit irgendwann zur Lähmung der Herzmuskels führt. Ich hab auch schon unzählige male damit gearbeitet, es ist auch nie was passiert, aber nichtsdestotrotz bleibt immer ein mulmiges Gefühl und die Aufmerksamkeit bei 100%

 

[Colindo]

@Schäfchen @DerNiemand
Wir hatten immer nur zwei Pumpen an den Evaporatoren, aber ich kann mich nicht erinnern, was die "Grobe" für ein Typ war.

@Thomas B.
Ich nehm alles zurück. Hab mich von dem sichtbaren Photolack am Rand (Regenbogen-Schillern) täuschen lassen. Außerdem bin ich Elektronenstrahl-Lithographie gewöhnt, da würde man nie so einen großen unnutzbaren Bereich belichten. Nichts für ungut!