News EUV-Lithografie: ASMLs neue Scanner schaffen bald 170 Wafer pro Stunde

[Retro-3dfx-User]

Eben nicht, in den 00er Jahren hatte die MHz Angabe nichts mit der realen Taktzahl zu tun. Und heute wahrscheinlich auch nicht. Du kapierst es nicht.

Aha die Einheit MHz waren bei einem 1000MHz Pentium3 also wohl nur 800MHz und beim 1000er Duron dann 600MHz bzw. dem VIA C3 gab es auch mit 1000MHz? Du hast es wohl nicht kapiert, was eine festgelegte anerkannte Einheit darstellen soll, denn es geht nicht darum, was vielleicht für Leistung hintenrum rauskommt, oder damals die P-Rating vergleiche, sondern um die Einheit und einen Standard selbst, nicht mehr und nicht weniger.

1000MHz sind nunmal 1000MHz, sowie 1000g 1kg entsprechen, weil dies glücklicherweise festgelegt wurde damit wir nicht im Chaos versinken.

Ein 1000PS Sportwagen mag zwar schneller Fahren als ein 1000PS LKW, der Sportwagen wird dabei aber keine 40 Tonnen von A nach B bekommen, hat aber bei einem entsprechenden Leistungstest, der ebenso genormt ist trotzdem 1000PS.

Einige kapieren einfach nicht auf was ich hinaus möchte, aber noch mehr sinnlose Beispiele bringen, um zu erklären, was ein festgelegter Standard ist, hilft da bei einigen wohl auch nicht weiter.

Und ja man könnte auch die Verkleinerung von Herstellungsprozessen Normen, dies wurde leider eben nur noch nicht getan. Ob man das dann immernoch Nm oder QWERTZ-Wert nach meiner Tastatur nennt, spielt da selbst für mich keine Rolle, solange es hoffentlich in Zukunft bindend festgelegt wird.

Aber das wars nun wirklich für mich hier darüber zu diskutieren, ich trinke mal noch mein 0,5er Bier mit seinen vorgegebenen 500ml Inhalt an Bier, zum Glück sind da keine 400ml drin, weil es ja vorgeschrieben ist, was einen halben Liter entspricht.

Edit: @Mustis nee einige und auch du kapierst nicht auf was ich hinaus möchte, das mit Relation hin und her hab ich schon lange kapiert wie die sich das ausmalen, dennoch entspricht es nicht der Realität den kleinsten Kacknenner zu nehmen, wenn immer noch dinge, in dem Prozess dabei sind, die real nach alter Rechnung 50 oder 100Nm sind nur weil ein Furz Gate-Pipe verbindung 10Nm hat, ist das ganze nicht 10Nm wie es die PR-Abteilung macht.

Gute Nacht!

 

[florian.]

Natürlich wissen wir worauf du hinaus willst, du willst das der Herstellungsprozess keinen Markennamen trägt, sondern man sich eine Physikalische Größe heraussucht und die als Herstellgröße vereinheitlicht.

Aber eine komplexe Fertigungstechnologie kannst du halt nicht anhand eines Parameters beschreiben. Wenn dich die tatsächliche Fertigungsgrößen Interessieren, dann schau dir halt die entsprechenden Fachpublikationen an.

 

[Mustis]

Ich kapiere sehr wohl worauf du hinaus willst. Und ich versuche dir begreiflich zu machen, warum man inzwischen relative Größe nimmt und die Prozesse danach benennt: Weil die die dahinter liegende Technik nicht mehr die selbe ist und 14nm nach alter Schematik nunmal nicht das selbe sind wie 14 nm nach aktueller Schematik. Demnach wäre es komplett sinnfrei beide Verfahren 14nm Verfahren zu nennen. Zudem ist deine Vorstellung genauso hanebüchen: Die Verfahren enthalten Strukturen, die dem entsprechen, was der Name sagt. Mit welcher Begründung sollte man die größte Struktur als "Namensgeber" heranziehen und nicht die kleinste? Deine Festlegung ist absolut wilkürlich und es gibt keinen logischen Grund, warum dies so sein müsste. Und entgegen deiner zum xten mal wiederholten Behauptung stammen die Namen nicht aus der PR Abteilung.

Du kannst noch so oft wiederholen, dass "wir" nicht kapieren worauf du hinaus willst. Es stimmt schlicht nicht, weder bist du herausragend clever, dass wir dir nciht folgen könnten, noch sind wir so dumm, dir geistig in deiner "Idee" nicht folgen zu können. Wir kapieren ganz genau, worauf du hinaus willst. nur ist und bleibt das schwachsinnig, unlogisch und es gibt keinen relevanten Grund dem zu folgen, was du hier als die Wahrheit präsentieren willst. Schon gar nicht unter der Prämisse, das es Betrug sei, den zumindest ich und einige andere hier sind in der Lage den Namen von dem dahinterliegenden VErfahren zu abstrahieren und ggf. nachzulesen, welche Struktur letzlich welche reale Größe hat.

 

[anexX]

Finde solche News immer seltsam: Das klingt ja so, als würde ASML für eine Maschine fast 2 Wochen brauchen???

Wenn es schneller ginge ohne irgendwelche Abstriche in der QA machen zu müssen würden diese Leute das ganz sicher tun denn sie verdienen damit sehr sehr viel Geld.

End of song: Offensichtlich geht es aktuell nicht schneller.

 

[Hayda Ministral]

Ich habe hier nichts vorzugeben oder festzulegen wie es richtig wäre. Fakt ist, es muss ein entsprechender Standard festgelegt werden

Fakt ist, dass ein entsprechender Standard eben nicht festgelegt werden muss. Der Aufwand steht in keinem auch nur annhähernd gesunden Verhältnis zum Nutzen.

 

[florian.]

Finde solche News immer seltsam: Das klingt ja so, als würde ASML für eine Maschine fast 2 Wochen brauchen???

Ich würde ja ehr behaupten dass die pro Maschine 3 Monate und länger brauchen.
Die werden ja sicher nicht eine Maschine nach der anderen Bauen sondern viele Parallel.

 

[Dr.Bondage]

"Der Aufwand steht in keinem auch nur annhähernd gesunden Verhältnis zum Nutzen." - Wenn der Nutzen darin besteht den Kunden zu verwirren und zu täuschen dann erfüllt die Nichtfestlegung eines Standards genau diesen Zweck.

 

[florian.]

Du bist kein Kunde von TSMC

 

[Dr.Bondage]

Du bist kein Kunde von TSMC

Ne, aber von Intel. Desweiteren habe ich Erfahrung und kann 1 und 1 zusammenzählen. Heutzutage steht nichtmal mehr das Gewicht eines Produkts auf einer Produktschachtel. Die Täuschung fängt bei den normalsten Produkten an. Aber ich will dir garnicht erklären müssen wie Verbraucher in diesem Land verarscht werden.

 

[ukulele]

@Colindo Das stimmt prinzipiell, allerdings sind in EUV-Maschinen gar keine Linsen verbaut alle Materialien, die sich für den Linsenbau eignen (Glas und Kunststoffe) absorbieren UV-Strahlung sehr stark. Eine hohe Strahlungsleistung ist aber elementar wichtig, weil dann schneller belichtet werden kann -> mehr Wafer pro Stunde -> mehr Chips -> geringere Kosten. In einer älteren EUV-News stand drin, dass auch die ausreichend starken Laser in diesem Wellenlängenbereich lange Zeit technisch nicht machbar waren. Daher ist es unmöglich, Linsen zu benutzen, die gesamte Strahlformung wird mit Spiegeln erreicht. Dass nur Spiegel verwendet werden, ist auch auf dem Bild in der News deutlich zu erkennen.

@Retro-3dfx-User Du regst dich über ein Thema auf, über das sich echt nur ein Deutscher aufregen kann Hast du schon mal die Leistungsangabe deines Autos angeschaut? Die "120 PS", die da angegeben sind, werden auch nur in einem Gang bei einer bestimmten Drehzahl erreicht, außerdem muss dabei die Klimaanlage ausgeschaltet sein usw. Und auch da überlebt die Menschheit diese "Falschaussage" - wobei sie noch viel mehr Leute betrifft als bei Computerchips. Keine Sorge, da wirst du schon nicht über den Tisch gezogen!

 

[Colindo]

Das war auch nur ein Beispiel zu den Kosten. Linsen benutzt man wegen sphärischer Abberationen bei solchen Anwendungen eh weniger, selbst wenn zum Beispiel für den Anregungslaser passende Linsen verfügbar wären.

 

[ukulele]

@Colindo Sphärische Aberrationen lassen sich heute sehr gut kontrollieren, indem man eine asphärische Linse(*) benutzt die sind natürlich aufwändiger und teurer, aber das ist bei einem Gerät, dass weit über 100 Mio kostet, kein Argument. Beim UV ist tatsächlich die fehlende Transparenz der Materialien das Hauptargument gegen Linsen. Aber jetzt hör ich auf, klugzuscheißen

(*) https://de.wikipedia.org/wiki/Asphärische_Linse

 

[Colindo]

Keine Sorge, asphärische Linsen sind mir bekannt. Auch, dass die Fertigung mit steigender Größe sehr schwierig wird.

Worauf ich hinaus wollte ist, dass der Anregungslaser des Zinnplasmas wohl kaum von der Absorptionsproblematik betroffen ist. Kann jetzt aber nicht die Wellenlänge finden, mit der der operiert.

Edit: Hab's hier gefunden. Angeregt wird mit einem CO2-Laser, also bei 10µm Wellenlänge.

 

[Hayda Ministral]

Zwei Jahre später....sollte es erlaubt sein mal nachzufragen:

Bei welchem Durchsatz Wafer pro Stunde sind wir denn heuer angelangt?

 

[Colindo]

Der Artikel griff ja schon leicht in die Zukunft. Damals war das Modell NXE:3400C mit 170 Wph für das H2 2019 angekündigt. Auf der Webseite von ASML ist das Modell immer noch das neuste.

Wenn ich mich recht erinnere, folgt als nächstes der Sprung auf Modelle mit High-NA, um die Auflösung für die N3-Node zu verbessern. Der Artikel von Golem fasst das gut zusammen. Es gibt/gab wohl für normales EUV eine Steigerung auf 185 Wph, die neuen Anlagen sollen dann mit höherer Auflösung auf die gleiche Geschwindigkeit kommen.