CS74ES schrieb:
Ich weiß nicht wie so eine Fab ausssieht, aber es kann doch nicht so schwer sein ein Vakuum länger wie 20 Minuten mit Notstrom aufrecht zu erhalten.
Wenn man kein Ahnung hat, muss man auch mal nichts was für den Post-Counter tun. Oder?
Nachdem ich hier im Thread so viel Unfug gelesen habe:
Üblicherweise befinden sich immer 25 Wafer (
https://de.wikipedia.org/wiki/Wafer) in einer Fab in SMIF-Boxen (
https://en.wikipedia.org/wiki/SMIF_(interface)). Die sind allseitig geschlossen.
Damit werden die Wafer mit einem vollautomatischen Handlingssystem von Anlage zu Anlage transportiert.
In jeder Anlage befinden sich nur 1 oder 2 Boxen. Also völlig egal ob Belacker, (Direkt-Wafer-)Belichter, Stepper, Entwickler, Implanter, Plasmaanlagen, Sprühätzer, Spin-Rinse-Dryer, Beckenanlagen, Sputter etc.
Ausnahmen sind nur die Horizontalöfen: da befinden sich pro Rohr weit über 100 Wafer gleichzeitig drin (Vielfache von 25). Es sind 4 Rohre übereinander angeordnet. (
http://www.centrotherm.de/technologien-loesungen/halbleiter/produktionsequipment.html)
D.h., das sich in dieser Fab 100-150 Anlagen befinden, mit einer niedrigen zweistelligen Anzahl an Öfen.
Samsung hat konsequent alle während des Stromausfalls prozessierten Wafer entsorgt.
Stromausfall mit USV überbrücken: fangen wir mal "klein" mit einem einzelnen Sprühätzer an (
http://www.semsysco.com/products/)
Während ein Immersion-Heater gerade mal 6KW frisst um ein Piranha-Becken auf >100°C zu halten, bringt es der DI-Wasser Heizer problemlos auf >100KW.
Ein Implanter hängt an einem 64A Drehstromkabel.
Den Vogel schießen aber die Öfen ab: pro 4-Rohr Ofen werden 200A Drehstromkabel benötigt, wenn die Prozesstemperaturen bis 1030°C betragen. Natürlich hängen die an USVs. Aber nur die Prozessrechner.
Vakuum: in einem einzigen Varian-Implanter stecken 8 Vorpumpen, 3 Turbomolukular-Pumpen, 3 Cryo-Pumpen. USV? Ich versuche gerade den Lachkrampf zu unterdrücken.
Gute Nacht.