foofoobar
Captain
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High-NA schafft prinzipbedingt weniger Wph.BAR86 schrieb:Hab ich das jetzt richtig verstanden: das an Intel gelieferte System ist es nun eines mit 220 Wph?
Heißt aufrüstbar nun, dass man später ohne den gesamten Scanner zu tauschen bessere Optik verbaut, also etwa die von Hyper-High NA oder sind dafür wieder neue Scanner notwendig?
Und: welche EUV Systeme setzt Intel eigentlich ein. Die werden ja auch noch nach wie vor besser, setzt man da die aktuellsten Systeme ein umd auch in diesem Bereich aufzuhlen?
https://www.semianalysis.com/p/asml-dilemma-high-na-euv-is-worse