Da kann man nur staunen, wenn man sich die technischen Eckdaten durchliest und erst recht, wenn man den Sprung von bisher genutzter Technik in betracht zieht.
Bisher wird so weit ich weiß mit 193nm Excimerlasern belichtet, welches auch schon Probleme mit sich bringt. Excimer-Laser sind aber schon lange auf dem Markt und man weiß gut damit umzugehen. Außerdem kann man die Strahlquellen sehr gut skalieren, hohe mittlere Leistungen sind möglich. Die Strahlführung und -Formung ist noch mit Spiegeln und Linsen realisierbar (kann aber teilweise nur durch hochgiftige Materialien umgesetzt werden) und man kann die Anlagen mit Gasen spülen. Normale Luft funktioniert aber schon nicht mehr.
Jetzt kommt der Sprung auf 13,5nm. So gut wie alles absorbiert diese Wellenlänge, angefangen bei der Luft, klassischen Gasen, die zum Spülen optischer Systeme verwendet werden, Glas, etc. Folglich muss das ganze im Vakuum stattfinden. Linsen kann man auch vergessen, die ganze Strahlführung und -Formung muss über Spiegel stattfinden.
Durch die kleine Wellenlänge müssen die Optiken und auch die Wafer extrem genau gefertigt werden. Die Oberflächengenauigkeit liegt um ein vielfaches höher, als früher verwendbare konventionelle Optiken oder Wafer, was mit sehr hohen Kosten verbunden ist.
Und zu guter letzt kommt die Lichterzeugung. Statt Gasen oder Festkörpermedien muss das Licht mit Plasmen erzeugt werden und ist von Natur aus nicht gerichtet, wie z.B. Laserlicht -> wieder erhöhte technische Anforderung. Man kann das Plasma mit Strom oder Laserlicht pumpen, was davon umgesetzt wird, weiß ich nicht.
